中古 ASML PAS 5500 / 100D #9202567 を販売中

ASML PAS 5500/ 100Dは、生産マイクロエレクトロニクスデバイスを含むさまざまな産業用途向けに特別に設計されたウェハステッパーです。このデバイスは、生産中に高精度と高精度を提供し、プロセスのより大きな自動化を可能にします。このデバイスは、生産中に優れた性能を提供するために仕上げられた耐久性のある高品位のスチールボディで構築されています。さらに、優れた性能を提供するさまざまな機械的および電子的機能を備えています。これはビーム、レーザー、モーターおよび他の部品を制御するための走査器を含んでいます；統合されたアライメント制御装置；ウェーハの位置；そしてカセットを交換するための上昇のメカニズム。ASML PAS 5500/100Dは、レーザー、スキャナー、投影光学の3つの主要コンポーネントで構成されています。レーザーモジュールは、ウェーハ上で必要なパターンを実行するために使用されるストリート形成を生成するために責任があります。スキャナーは、望ましいストリートパターンを作成するためにレーザービームを移動するために使用され、投影光学は投影画像の品質を最適化するために使用されます。正確なパターニングを確保するために、レーザーモジュールは高解像度とダイナミックレンジで構築され、スキャナは優れたコントラストと複雑なパターンの作成を可能にします。さらに、このデバイスには特許取得済みのオートトラッキングシステムが装備されており、ウェーハパターンに従ってレーザービームを自動的に調整することができます。これにより、より迅速で正確な生産時間が可能になり、プロセスの自動化が向上します。さらに、PAS 5500/100 Dは、高度なステッパー校正ユニットによって寸法精度を向上させるように設計されています。このマシンは、露光配列中の露光線量とオーバーレイ精度の蓄積を監視および調整し、正確な制御レベルを提供します。さらに、高度なレチクル交換ツールと巧みなトレイ位置決めアセットを備えており、ウェーハの位置決めの欠陥を排除し、ダウンタイムを最小限に抑えます。全体として、PAS 5500/100Dは、さまざまな産業用に特別に設計および構築された高精度のウェーハステッパーです。パターニングや露出において非常に効率的なさまざまな機能を提供し、洗練されたオートトラッキングモデルを組み込むことで、これまで以上に高速かつ正確になります。