中古 ASML PAS 2500 / 40 #9193197 を販売中

ASML PAS 2500/40は、半導体ウェーハ処理用に特別に設計されたNexprecisベースのウェーハステッパーです。応用物理学、高度な光学、ナノテクノロジーを組み合わせた完全に統合されたプラットフォームを備えており、プロセス全体のパフォーマンスと歩留まりの向上をサポートしています。ASML PAS 2500/40は、回転膜の設計、最大40mmのスキャン長の取得システム、および超高速50mHz光加速コントローラを内蔵しています。最先端のソフトウェアとオンボードインテリジェンスを搭載し、高速かつ高精度なウェーハ処理を可能にします。統合された制御およびソフトウェアシステムは、ウェーハ操作の優れた精度を提供し、ダウンタイムを削減し、プロセススループットを向上させます。Nexprecisプラットフォームは、連続スキャン動作と0。2nmの精密線量補正を提供し、半導体処理の歩留まりと精度を向上させます。このシステムには、正確な温度と露出制御用の統合プロセスコントローラも含まれており、信頼性の高いフォトリソグラフィ結果を保証します。PAS 2500/40の超低熱プロファイル、低応力光学は、優れたオーバーレイ制御と改善されたイメージング機能を提供し、複数の露出モードによりウェーハの高速転送を実現します。高温スキャンを内蔵しているため、浅いトレンチ絶縁（STI）処理が可能です。PAS 2500/40は、プロセス環境で使用するとパフォーマンスが向上します。1秒間に最大5回の露光で高速イメージングが可能で、同じ光学系でも高いスループットを実現します。高度な処理能力により、高度なリソグラフィおよびプロセスソリューションの制御と精度が向上します。ASML PAS 2500/40は、半導体メーカーのニーズに対応するために特別に設計された、信頼性が高く、費用対効果が高く、汎用性の高いウェーハ処理ツールです。これは、高度に構成可能であるように設計されており、直感的なユーザーインターフェイスとタッチスクリーンコントロールを備えているため、使いやすく、プロセスのパフォーマンスを最大化することができます。