中古 ASML PAS 2500 / 30 #9190605 を販売中

ASML PAS 2500/30は、半導体デバイスの製造に使用されるウェハステッパーです。光学、力学、制御技術を組み合わせた最先端の機器で、高解像度で高精度な露光画像を生成します。このステッパーの高度な機能は、さまざまなアプリケーションや生産要件に適しています。近赤外領域でのフォーカスシフトを低減するため、低倍率・長時間作動距離レンズを採用しています。これにより、30〜120msの短露光を実現し、スループットを向上させます。X/Yステージは、高度なアルゴリズムを備えた精密サーボベースのモーションコントロールを使用して、タイトパッケージで最高の精度のモーションコントロールを提供します。このユニットは、ステップアンドリピート技術を使用して、ウェーハに素早く画像を書き込むことで高スループットを実現します。ステッパーはフィールド連続照明（FSI）を備えており、露光線量を制御し、画像解像度の精度と均一性を向上させるための均一で均等なフラックス照明（EFI）をサポートしています。ステッパーには、露出エネルギーを最適化し、露出中の焦点と熱ドリフトの影響を低減するプログラム可能な露出システムもあります。このマシンには、正確で高速な自動校正ツールがあり、アライメントとフォーカスのずれを調整することができ、スループットが向上し、ダウンタイムが短縮されます。また、プロファイルと異常検出のためのシステムが含まれており、露光線量精度のための光強度のより良い制御を可能にします。さらに、アセットは、露出画像の品質をチェックするために欠陥検査とレビューシステムを使用しています。PAS 2500/30は、精度と精度の高い半導体デバイスの製造に適した先進モデルです。精密なモーションコントロール、フィールドシーケンシャルイルミネーション、露光線量精度システム、画像レビューシステム、欠陥検出などの優れた機能を備えています。これにより、高品質の半導体デバイスを製造するための信頼性の高い効率的なツールとなります。