中古 ASML AT-850D #9197016 を販売中

ASML AT-850Dウェーハステッパーは、半導体集積回路の製造工程で使用される高精度で正確な光学アライメント装置です。ナノメートル精度アライメントが可能な5軸同時測位システムを搭載しています。長さ：19。7フィート（6m）、幅：9。3フィート（2。8m）、高さ：9。7フィート（3m）。ASML AT850Dは、ウェーハアライメントに優れた機能を提供する高度なユニットです。高感度のリニアエンコーダマシンと、± 1nmの精密なエンコーダスケール精度を備えており、優れた精度と再現性を保証します。進歩はミリ秒のステージモーションを可能にします。機械のターンキー制御ツールは、外部振動からの変形を完全に防止することができます。AT 850Dは、正確なウェーハアライメントを検出、分析、維持できる自動検査アセットで設計されています。これには合計6ヘッドのアライメントモデルがあり、それぞれが所定のウェーハ上で最大25のマーカーを検出することができます。装置は複数のサーボおよび動き制御モジュールおよび高度ソフトウェアから成っている強力なプロセス制御システムによって制御されます。ウェーハステッパーは、幅広いアライメントステップに対応し、露出ごとに複数のウェーハアライメントを可能にするインテリジェントウェーハインデックスユニットを備えています。フル機能のマシンは、高精度でほとんどすべてのアライメントパターンを処理します。高度な計算および画像処理アルゴリズムと高度な光学技術を使用して、正確なウェーハ位置決めを保証します。また、高度な高精度ウェーハアライメント顕微鏡を搭載しています。この顕微鏡は、ウェーハ接合領域の優れた視野をお客様に提供します。5マイクロメートル誤差範囲で最大8 μ mの精度を提供し、1ナノメートルサイズの機能を解決できます。このツールは、低歪み光学を提供する高度に最適化された光学アセットで設計されています。さらに、特別な照明モデルは、ホットスポットを排除し、回路の歪みを低減する均一な高輝度光源を生成します。全体として、ASML AT 850Dウェーハステッパーは、ウェーハ製造において優れた精度を提供するように設計された幅広い機能を備えた高精度で正確な装置です。これは、製造プロセス中にウェーハの完璧なアライメントのための最高の精度と再現性を確保するために、最新の技術を搭載しています。