中古 ASML AT-850 #9198430 を販売中

ASML AT-850ウェーハステッパーは、半導体製造プロセスで使用される、コンピュータ制御の自動ウェーハ加工機です。紫外線レーザーでフォトマスクをスキャンし、パターンをウェーハに転送することで機能します。このデバイスには、2つの異なる露出源と、高解像度パターニングのためのフルフィールドディザリングスキャン戦略が装備されています。これにより、正確な形状、線幅、距離制御が可能になり、高スループットを実現します。この装置は、それぞれ135 nmと193 nmの特徴をパターン化するために使用できる2つのリソグラフィ源（i-LineとArFエキシマレーザー）を備えています。どちらのレーザーも波長とコヒーレンシーを制御しているため、複雑な形状を高解像度で正確にパターン化できます。このシステムには、ジョブの要件に応じて使用できる複数のアルゴリズムがあり、スループットとプロセスウィンドウを最適化します。ウェーハはロボットハンドリングユニットとSCARAロボットを介してマスクアライナーに搬送されます。ステージは、200から400ミリメートルまでのサイズで、ウェーハの範囲を扱うようにプログラムすることができます。ウェーハが設置されると、精密なピッチでマスクに傾けることができ、ジョブの要件に合わせて調整することができます。ウェーハステッパーには、露出プロセスを監視および制御するために使用されるさまざまな検出器も装備されています。これには、干渉計、パターン化されたウェーハのプロファイルを測定するための検出器、およびウェーハ全体を高倍率でスキャンできる走査型電子顕微鏡が含まれます。これは、パターンが最高品質と忠実度であることを保証します。インダストリアルグレードのオートメーションPCであるオンボードコントローラを使用して、リソグラフィープロセス中に変更する必要があるパラメータを正確かつ迅速に調整できます。これにより、露出設定や露出時間を簡単にプログラムまたは変更できます。最後に、ASML AT 850ウェーハステッパーもエネルギー効率が高く、プロセスの環境負荷を低減します。一部のモデルには、露出プロセス中に失われたエネルギーを取り戻すのに役立つエネルギー回収機が組み込まれています。