中古 ASML AT-850 #9193537 を販売中

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ASML AT-850
販売された
製造業者
ASML
モデル
AT-850
ID: 9193537
ヴィンテージ: 2004
ARF Scanner, 12" 2004 vintage.
ASML AT-850は、半導体デバイス製造プロセスのすべての段階で使用される高精度ウェーハステッパーです。これは、正確なパターニングとオンプロダクトテストを可能にする包括的なプラットフォームを提供するように設計されています。ASML AT 850装置は、リソグラフィ、レチクル位置決め、基板アライメント、加熱冷却、ステージ運動などの先端技術を組み合わせて、半導体基板に非常に複雑な構造を作成します。ステッパーのシリコンベースのリソグラフィーシステムは、印象的な5nm分解能で、複雑な回路パターンの複製を可能にします。このユニットは、1つのアライメントマークで4つのレチクル間でパターンを正確に露出および画像化することができ、大量生産に最適です。ステッパーのステージモーションマシンは、位置決め解像度2。5nmの高度なモーターを備えており、露出前に基板をレチクルの下に正確に配置することができます。エレクトロサーマルアクチュエータを使用して、露光プロセス中に基板温度が均一で安定していることを確認します。この熱安定化は、ウェーハステッパーの性能の温度変化によるエラーを最小限に抑えるのに役立ちます。反射レチクル位置決めツールは、レチクルの正確な向きを維持するため、基板上の照明画像の正確な投影を提供します。ステッパーにはパターンアライメントアセットも装備されており、ステージの位置が常にレチクルと正確に整列することができます。最後に、ヒーターと冷却システムは、ウェーハステッパーに不可欠なコンポーネントです。高精度の加熱モデルを使用して、製造プロセス中の基板の温度を制御し、冷却装置は、露出プロセスの後に基板を許容温度に迅速にもたらします。全体として、AT-850は優れた精度と大量生産能力を提供する高度なウェーハステッパーです。精密なレチクル位置決め、基板アライメント、熱管理、ステージモーションの組み合わせにより、半導体材料に非常に複雑な構造を作成するのに最適です。
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