中古 ASML AT 1150iS Twinscan #9197839 を販売中

ASML AT 1150iS Twinscanは、さまざまなシングルダイおよびマルチダイ用途向けの包括的なリソグラフィ処理を提供するウェハステッパーです。半導体製造業界で最も要求の厳しい要件を満たすように設計されており、総所有コストを最小限に抑えながら、最高の精度と精度を提供します。ステッパーは2ミラー光路を備えており、最大12マイクロメートルの解像度を実現します。これにより、1時間あたり最大180個のウェーハのスループットを向上させることで、再現可能なプロセス結果と一貫した歩留まりを確保できます。AT 1150iSは、毎秒12ナノジュール以下の露光レベルを備えたハイエンドのリソグラフィ要件向けに設計されています。また、最大52×80mmの拡張フィールドサイズを備えており、幅広いウエハサイズの加工が可能です。AT 1150iSには、ステージモーションコントローラーとステッピングモーションコントローラーが内蔵されており、幅広い作業条件で優れた精度と精度を提供します。組み込み制御ソフトウェアは、アプリケーションのニーズに合わせてカスタマイズでき、柔軟で適応性の高い操作を提供します。ステッパーはまた、真空ポンプとセンサーの統合システムを提供し、正確で反復可能な処理のための適切な環境を確保します。さらに、AT 1150iS Twinscanは、ASMLが特許を取得したRealScan™技術を特長とし、優れた結果を認めて「最高のスペクトル」を授与しました。優れた解像度と反復可能な結果に不可欠なアクティブビーム補正とビームセンタリング機能を採用しています。最大の稼働時間を確保するために、ASML AT 1150iS Twinscanは、生産に影響を与える前に異常を検出して対処するように設計されたさまざまな高度な機能を提供します。ディテールへの注意は、直ちに故障を検出するための埋め込みパーティクルモニターと、アライメントの精度を確保するためのHealScanモニタリングで示されています。全体として、AT 1150iS Twinscanは要求の厳しいリソグラフィ用途に理想的なソリューションであり、効率と歩留まりを最大化するための速度と精度を提供します。柔軟な機能と強力な操作により、ASML AT 1150iS Twinscanのユーザーは、優れたプロセス性能と結果を達成することに自信を持つことができます。