中古 ASML 300 #9047521 を販売中

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製造業者
ASML
モデル
300
ID: 9047521
DUV Stepper, 6" Lens under N2 purge Front end Options: SECS REFL Image sensor Arms Pep 1 / Pep 2: Productivity upgrade Reticle error compensation Flatness model LSQ Disto model Mark sensor Batch streaming (2) Intensities Focus monitoring Aerial IRIS Flexible signal tower Extended NA range Focal adjustment Extended exposure TIS Athena Fast TTL alignment Automated DOE exchanger Phase modulator FTTL Phase modulator OA Alignment reports Annular illumination Athena allow high orders Scribelane marks (3) Library configurations Visual alignment camera 1998 vintage.
ASML 300は、半導体製品の製造に使用されるウェハステッパーです。これは、チップ上のトランジスタやその他のコンポーネントを作成するために使用されるパターンを正確に制御できるフォトリソグラフィーツールです。300は、露出中にX軸とY軸でウェーハが移動するデュアルステージカラムのスキャナです。ステージは、ナノメートルレベルの精度と再現性でステージを制御できる高速DCモータによって駆動されます。また、光学素子、レンズ、ビームスプリッタなどの光学素子も搭載しており、ウェーハ上に投影する光の形状や形状に使用されます。装置は非常に統合され、適用範囲が広く、ライトおよび基質の操作そして制御を可能にします。ASML 300は、最新の露光技術を搭載した急速に進化するシステムです。モーションコントローラ、モータードライブ、マイクロ秒パルス発生器、自己校正技術で露出を解析するインテリジェントビジョンユニットなどの高度な機能を搭載しています。また、ラインエッジ検出ツール、エリア検査用の顕微鏡、詳細な表面評価用のインライン目視検査アセットなど、さまざまな検出器を使用して精度を確保しています。300は、フォトリソグラフィの分野で精度と再現性の業界標準を設定しています。このウェーハステッパーは、デュアルステージスキャン機構、ナノレベルの精度、自動化された自己校正モデルを備えており、最新のマイクロチップ用の高性能トランジスタやその他のコンポーネントを信頼性が高く効率的に製造する方法です。現代の半導体製造に最適です。
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