中古 ASML 300 #9047521 を販売中
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販売された
ID: 9047521
DUV Stepper, 6"
Lens under N2 purge
Front end
Options:
SECS
REFL Image sensor
Arms
Pep 1 / Pep 2: Productivity upgrade
Reticle error compensation
Flatness model
LSQ Disto model
Mark sensor
Batch streaming
(2) Intensities
Focus monitoring
Aerial
IRIS
Flexible signal tower
Extended NA range
Focal adjustment
Extended exposure
TIS
Athena
Fast TTL alignment
Automated DOE exchanger
Phase modulator FTTL
Phase modulator OA
Alignment reports
Annular illumination
Athena allow high orders
Scribelane marks
(3) Library configurations
Visual alignment camera
1998 vintage.
ASML 300は、半導体製品の製造に使用されるウェハステッパーです。これは、チップ上のトランジスタやその他のコンポーネントを作成するために使用されるパターンを正確に制御できるフォトリソグラフィーツールです。300は、露出中にX軸とY軸でウェーハが移動するデュアルステージカラムのスキャナです。ステージは、ナノメートルレベルの精度と再現性でステージを制御できる高速DCモータによって駆動されます。また、光学素子、レンズ、ビームスプリッタなどの光学素子も搭載しており、ウェーハ上に投影する光の形状や形状に使用されます。装置は非常に統合され、適用範囲が広く、ライトおよび基質の操作そして制御を可能にします。ASML 300は、最新の露光技術を搭載した急速に進化するシステムです。モーションコントローラ、モータードライブ、マイクロ秒パルス発生器、自己校正技術で露出を解析するインテリジェントビジョンユニットなどの高度な機能を搭載しています。また、ラインエッジ検出ツール、エリア検査用の顕微鏡、詳細な表面評価用のインライン目視検査アセットなど、さまざまな検出器を使用して精度を確保しています。300は、フォトリソグラフィの分野で精度と再現性の業界標準を設定しています。このウェーハステッパーは、デュアルステージスキャン機構、ナノレベルの精度、自動化された自己校正モデルを備えており、最新のマイクロチップ用の高性能トランジスタやその他のコンポーネントを信頼性が高く効率的に製造する方法です。現代の半導体製造に最適です。
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