中古 ASM WS 896 #9060206 を販売中

ASM WS 896は、半導体ウェーハの少量生産と大量生産の両方のメーカー向けに設計されたハイエンドウェーハステッパーです。ASM WS896は、最大直径8インチのウェーハをステッピングすることができ、単一のプロセスサイクルで最大600個のウェーハを収容することができます。最先端の光学技術とモーター技術を備えており、クラスのステッパーの最高露光精度を実現しています。WS 896には、専用のマルチプロセッサ機器によって制御された2つの高精度ガルバノメータベースのスキャンステージが装備されています。これにより、ウェーハ全体でスキャン操作を並列処理することができ、ウェーハのスループット速度を最大限に引き出すことができます。ガルバノメータは高精度のスキャン性能と安定性を提供するように設計されており、マルチプロセッサシステムはユニットの応答性と精度を向上させます。ステッパーには革新的なオートフォーカスメカニズムが装備されており、ウェハと光学系の間を正確に整列させることができます。その低倍率オプティクスは、ウェハに異なる厚さの特徴が含まれている場合でも、高精度を維持するのに役立ちます。ステッパーには統合されたエアベアリングステージマシンも付属しており、ドリフトを最小限に抑えて高速かつ正確なステップアンドリピート性能を保証します。光学とモーターに加えて、WS896はまた、高度なモーションコントロールツールを備えており、光学とスキャン段階の動きを正確に制御することができます。超低レイテンシーと最小リップル特性により、高速動作に最適です。最後に、ステッパーには、精度と再現性を最大限に確保する自動追跡と補正機能が装備されています。全体として、ASM WS 896は半導体ウェーハの大量生産に理想的なウェーハステッパーです。高精度の光学系、モーター、モーションコントロールシステムは、高速およびスループットで、正確で反復可能な結果を達成するのに最適です。