中古 ASM WS 896 #9170395 を販売中

ASM WS 896は、製造または研究用に設計されたウェーハステッパーです。これは、最先端の光学、モーションコントロール、コンピューター制御、およびさまざまな半導体リソグラフィ用途のサポートシステムを組み合わせた完全統合された機器です。光学と照明ASMの中心にはWS896 0。45のNA （Numerical Aperture）を備えた最先端の投影光学システムがあり、ウェーハの全領域にわたって高解像度で均一な画像を提供します。照明は、LEDアレイと光学要素を介して提供され、ウェーハ全体に均一な露出を与えるように構成されています。モーションコントロールWS 896は、モーションコントロールのオプションのフルレンジを備えています。ウェーハスタッキング機能、再配置なしで複数の露出を可能にします。改善された正確さのためのウェーハドリフトの安定化；そして列ベースのサーボ制御および摩擦のないXYZ段階のような付加的な強化。これらの高度なモーションコントロールオプションにより、WS896は少量生産や大規模な研究プロジェクトでウェーハを正確かつ効率的に露出することができます。コンピュータ制御ASM WS 896は、業界最先端のコンピュータ制御システムと完全に統合されており、簡単で効率的なプログラミングとセットアップを可能にします。コンピュータ制御ユニットは、簡単な製造手順から高度な露出レシピまで、幅広いソフトウェアパッケージを実行します。また、CADおよびCAMプログラムを実行し、デジタルリソグラフィーソフトウェアと統合して効率的な設計から生産性を実現できます。サポートシステムASM WS896は、包括的な手動および自動ウェーハ試験機を含む複数のサポートシステムも備えています。このサポートツールには、露出モニター機能が含まれています。露出の正確さを保障する検証機能；そして光学をきれいにし、ほこりのない保つクリーニングの資産。結論として、WS 896は、生産および研究に最適な高度で完全に統合されたウェーハステッピングモデルです。最先端の光学およびモーションコントロール、高度なコンピューター制御システム、包括的なサポートシステムにより、WS896はあらゆる半導体リソグラフィ用途に信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。