中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Mirra #9198189 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALSミラウェーハ研削、ラッピング&研磨装置は、シリコンウェーハ、セラミックス、金属、ガラスなど、さまざまな材料を形作り、磨くために使用される最先端のツールです。素材を効率的かつ正確に形作る技術を組み合わせた精密装置であり、完成品に対する高い制御性を維持しています。このシステムは、研削/ラッピング/研磨（GLP）ワークステーション、研削/ラッピング/研磨プロセスチャンバー、およびプロセス制御ユニットの3つの基本コンポーネントで構成されています。GLPワークステーションは、材料を形作るために使用される研磨粒子、グリット、および/またはスラリーの混合物を保持する電動スピニングボウルで構成されています。プロセスチャンバーは、実際の処理が行われるエンクロージャであり、通常は真空チャンバですが、プロセスコントロールユニットは、チャンバ圧力、温度、流量、送り速度などの出力パラメータを監視します。GLPプロセスは、目的の最終結果を達成するために、さまざまな研削技術とラッピング技術を利用しています。プロセスは粗い粉砕ステップから始まり、粗い研磨剤を使用して大量の材料を除去します。その後、材料はラッピングの準備ができており、微細な研磨ペーストが材料をさらに形作るために使用されます。最後に、研磨ステップは、所望の表面仕上げと形状を達成するために非常に細かい研磨スラリーで行われます。AMATミラユニットは、高度な制御装置により高精度・高精度を実現します。1桁のナノメートル精度と非常に微細なサブミクロンの粗さ値を生成することができます。さらに、GLPツールはツールレス操作を備えているため、研削/ラッピング/研磨ツールを手動で調整することなく、プロセスパラメータを簡単に調整できます。APPLIED MATERIALS Mirraは、幅広い材料の精密な研削、ラッピング、研磨のための非常に強力なツールです。高度な制御資産、優れた精度、および工具なしの操作により、材料加工に信頼性が高く効率的なソリューションを提供します。