中古 AIRTECH CD3052537 #9138325 を販売中

AIRTECH CD3052537は、ウェーハおよびフォトマスク製造のための洗浄ソリューションを提供するように設計されたウェーハ&マスクスクラバーです。これは、集積回路の作成に使用されるウェーハ、マスク、およびその他のコンポーネントを洗浄するための産業グレードのスクラバーです。このスクラバーは、片面、両面、および三面スクラビングと互換性があります。CD3052537装置には32インチのスクラバーヘッドと3軸CNC機構があり、スクラブやクリーニングを正確に制御できます。スクラバーには、非常に低い圧力で動作するアクティブマイクロジェット洗浄システムが装備されており、穏やかで残留物のない洗浄が可能です。マイクロジェットスプレーユニットは、30〜70°Cの温度でDI水を使用し、さまざまなウェーハ/マスク用途に幅広い洗浄オプションを提供します。調節可能なノズルは基質の変形を最小限に抑えながら、正確さと均一性を保証します。AIRTECH CD3052537には、ウェーハ/マスク表面からフォトレジストなどを除去するための洗練された3軸ロボットピーリングマシンも含まれています。広い作業エリアと高速で、ピーリングツールは効率的でクリーンな操作を保証します。さらに、セルフロックネジ付きの内蔵ヘビーデューティシャーシにより、迅速かつ簡単なセットアップが可能です。スクラバー自体は、付加的な信頼性のためにちり止めおよび耐腐食性です。スクラバーはまた、パルス幅、速度、露出時間、距離などの調整可能なクリーニングパラメータを提供する包括的なオンボードタッチスクリーン制御アセットを備えています。また、ウェーハ/マスク洗浄の光学特性と均一性をオンラインで検査・検出するための3ウェイ測色計も搭載しています。これにより、条件の変化に迅速に対応し、一貫性のある反復可能な結果を保証します。要約すると、CD3052537ウェーハ&マスクスクラバーは、ウェーハ/マスク製造のための信頼性の高い、効率的な洗浄ソリューションです。調節可能なマイクロジェット洗浄装置、3軸ロボット化されたピーリング、および統合されたタッチスクリーン制御システムにより、このスクラバーは高水準の再現性で正確で残留のない洗浄を保証します。