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AIRTECH ACB-221CS
ID: 9143756
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AIRTECH ACB-221CSは、半導体の製造に使用されるフォトマスクやウェーハの洗浄、洗浄、処理を目的としたウェーハ&マスクスクラバーです。その革新的な機能は、電気化学スクラブと化学スクラブの両方に理想的な選択肢です。ACB-221CSは、マスクのサイズやタイプに依存しない均一な洗浄で両面処理を提供する動的な3方向スクラビングステーションを備えています。それは合計で5つのスクラバーが付属しています。ウェーハ用3枚、フォトマスク用2枚。各スクラバーには自動インデクサとアクチュエータが装備されており、プロセスを簡単に整列および切り替えできます。オプションの統合ビジョン装置により、高精度で再現性のある自動マスクアライメントを提供します。クリーニングプロセスは、温度、圧力、流量に関する正確なデータを利用して正確な制御を保証するリアルタイムの電子モニタリングシステムによって制御されます。洗練された高速反応フィードバックループは、最適なパフォーマンスと一貫性を調整して保証するように設計されています。0を指定します。再現性に注意してください。AIRTECH ACB-221CSは非常に信頼性が高く正確な洗浄を保証します。ACB-221CSは、腐食やスプラッシュから保護するための堅牢な安全機能とクローズドループユニットを提供します。自動ドアロック機が付属しており、加工中の開閉を防ぎ、優れた安全性を確保しています。エネルギー効率が高く、メンテナンス性が低い空気圧ツールを搭載したこの220CSは、空気消費量と騒音汚染を低減する最適化された設計で、省エネルギーを実現しています。AIRTECH ACB-221CSは、ほとんどのフォトマスクやウェーハと互換性があり、窒素との互換性も高いです。柔軟性を高め、多種多様な洗浄プロセスをサポートします。信頼でき、正確なACB-221CSはフォトマスクのクリーニング/処理、ウェーハスクラブ、および他の生産の必要性の使用にとって理想的です。
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