中古 ADE / KLA / TENCOR UltraScan 9600 #9105659 を販売中

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ID: 9105659
Wafer inspection system E+ Station Pre-aligner station (2) Send cassettes (3) Receive cassettes Hi res station Lo res station Dual end effector robot Wafer typing option ASC 2000 System controller.
ADE/KLA/TENCOR UltraScan 9600は、高精度のウェーハ試験および計測機器です。半導体業界の厳しい要求と大量生産の要求に応えるよう設計されています。このシステムは、信頼性が高く、再現性が高く、正確な不適合検査ソリューションを備えているため、ユーザーは手動での作業を最小限に抑えてウェーハの欠陥を迅速に特定できます。このユニットの高速ウェーハイメージスキャンおよび計測技術により、高速で信頼性の高いウェーハ検査が容易になり、1時間あたり最大600個のウェーハをスキャンできます。フルカラーの高解像度マトリックスエリアアレイカメラを備えた統合ビジョンサブシステムを備えており、3um解像度でウェーハの最小欠陥の画像をキャプチャします。この品質の画像スキャン機能は、100 μ m近くの解像度を持つ光源と組み合わせて、正確な欠陥位置と分析を保証します。また、ADE UltraScan 9600は、特許出願中の欠陥検出および分類アルゴリズムを備えており、欠陥の種類を自動的に分類しながら、欠陥をリアルタイムで自動検出することができます。これにより、手動による検査とその後のデータのレビューが不要になります。このマシンは、堅牢で高速、信頼性が高く、効率的なスキャンおよび計測技術により、最も要求の厳しい生産要件を満たすように設計されています。これにより、ユーザーは手動でウェーハの欠陥を短時間で迅速に特定でき、コストと時間を削減できます。このツールは、ATE互換性も備えており、効率的な生産ライン運用のために、ATEシステムからのウェーハの迅速なロードとアンロードを可能にします。さらに、KLA ULTRA SCAN 9600は、幅広い安全プロトコルを備えており、ユーザーが安全な作業環境を維持できるようにしています。ナビゲートしやすいユーザーインターフェイス、アラーム付き監視資産、リモートアクセス機能から特許取得済みのビーム安全モデルまで、ユーザーは安全性を損なうことなくシステムを安全に使用できるようにします。TENCOR UltraScan 9600は、最も要求の厳しい生産ニーズを満たすように設計された強力で高精度のウェーハ試験および計測ユニットです。高度なスキャンおよび計測技術により、高精度、高速、信頼性の高い結果が保証され、統合ビジョンサブシステムと特許取得済みの欠陥検出および分類アルゴリズムにより、欠陥のリアルタイム評価が可能になります。安全機能により安全な作業環境を提供し、安全性を損なうことなく安全に使用することができます。
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