中古 ACCRETECH / TSK PG 300 RM #9200072 を販売中
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ID: 9200072
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Wafer backside grinder, 12"
P75 Slurry
OMEGA VUT600-1006-A Vacuum pump
ADVANCE WAVE VSP-32100S Voltage Sag Protector (VSP)
Hand-1 unit
Air dryer
Chiller
UV Unit
2005 vintage.
ACCRETECH/TSK PG 300 RMは、様々な工具・工程を駆使したウェーハ研削・ラッピング・研磨装置で、システム内のウェーハ上で平坦で滑らかで高精度な表面仕上げを実現しています。このユニットには3段階の回転精密プラテンが装備されており、それぞれ別々に動力を与えられ、別々の速度とストロークレギュレータが装備されています。これらのプラテンはそれぞれ機械内の独特な目的に役立ちます。最初のプラテンは、ウェーハからのバリやリッジの除去を支援する低速、低振幅の研削ステージです。第2のプラテンはより高い速度を使用し、より高い振幅を特色にしてより高い程度にウェーハを粉砕し、より滑らかで、よりレベルの表面仕上げを作成します。3番目のプラテンはラッピングと研磨の段階であり、ウェーハ上に鏡のような仕上がりを作り出すことができます。このプラテンは、ウェーハを磨くために化学化合物または潤滑剤と研磨粒子の組み合わせを使用しています。TSK PG300RMは、速度、ストローク、圧力などのプロセスパラメータにプログラム可能な制御ツールを使用しています。さらに、この資産には自動ウェーハハンドリングモデルが装備されており、手動で介入することなく、ウェーハの迅速かつ効率的なロードとアンロードを可能にします。プラテンベースのセンサーは、必要に応じて研削プロセスのためのウェーハのプレス、締め付け、放出を支援します。ACCRETECH PG 300RMは、機器の寿命を延ばし、メンテナンスまたは修理中のダウンタイムを最小限に抑えるように設計されたさまざまな安全およびメンテナンス機能も備えています。これらの機能には、オートストップ機能、防塵シールド、緊急停止ボタンが含まれます。さらに、アラームと冷却ファンを備えた温度監視システムを使用して、ユニットが温度制限内で動作していることを確認できます。結論として、PG 300RMは汎用性と強力なウェーハ研削、ラッピング、研磨機です。プログラマブルな制御ツール、自動化されたウェーハハンドリング、および安全機能により、一貫した高品質の結果をもたらすウェーハの迅速かつ効率的な処理が可能です。
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