中古 ACCRETECH / TSK PG 200 RM #9188245 を販売中

ACCRETECH/TSK PG 200 RMは、0。1mmから2。5mmまでのさまざまな小型ウェーハを研削、ラップ、研磨するように設計されたウェーハ研削、ラッピング、研磨装置です。それは機械変数を手動で調節する必要性を除去している間完全なスループットおよび平坦を提供するために独特な粉砕/磨く車輪を利用します。このシステムは、プロセスの異なる段階で複数のウェーハを処理しても、一貫した、繰り返し可能で、正確な結果を得るように設計されています。TSK PG-200RMは、ユーザーが各ウエハのプロセスパラメータをプログラムして調整できるタッチスクリーン操作ユニットによって制御されます。材料タイプ、ウエハサイズ、ホイール径、ホイールタイプに合わせてパラメータを調整します。これらのパラメータは、研削ヘッドまたは研磨ヘッドの回転速度とトルク、およびウェーハ表面に印加される圧力の量を制御します。ユニットはまた、安全機能の数を備えており、手動または自動モードで操作することができます。研削、ラッピング、研磨ヘッドには、ウェーハ表面にさまざまなテクスチャを生成することができるダイヤモンド研磨剤が含まれています。研削ヘッドは、精密な研削結果のために1マイクロメートルの精度に調整可能です。ラッピングヘッドは調整可能で、異なる厚さのウェーハを均等にラップするように設計されています。研磨ヘッドはダイヤモンドペーストを使用しており、加工後はウェーハ表面が滑らかで平らになります。このマシンは高解像度の顕微鏡を備えており、正確なプロセス制御を保証します。顕微鏡は光学的に整列されており、プロセスパラメータが正しいこと、および研削、ラップ、および研磨操作が必要な結果を生み出していることを確認するのに役立ちます。ACCRETECH PG 200RMには、特殊ウェーハホルダー、クリーニングブラシ、真空フィーダーなど、さまざまなアクセサリーが付属しています。また、プロセスチャンバーを清潔に保ち、動作中にほこりを排除し、ウェハの汚れを防ぐ防塵ツールを備えています。PG 200RMは、太陽電池、フラットパネルディスプレイ、光学デバイス部品などの薄膜電気用途向けウェーハの研削、ラッピング、研磨作業に最適です。さらに、アセットは柔軟でユーザーフレンドリーであり、ユーザーはさまざまなウェーハサイズ、材料タイプ、およびプロセス目標に適応するために、プロセスパラメータを迅速に調整することができます。