中古 ANATECH / TECHNICS RF-2C #9100809 を販売中

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ANATECH / TECHNICS RF-2C
販売された
ID: 9100809
ウェーハサイズ: 4"
Sputtering system, 4".
ANATECH/TECHNICS RF-2Cは、薄膜部品の製造において産業用に設計されたスパッタリングシステムです。材料タイプ、厚さ、パーセント組成、テクスチャ、表面形態など、堆積パラメータを正確に制御します。特許取得済みのデュアル周波数電源は、無線周波数(RF)電源コンポーネントを使用して、従来のスパッタリングシステムよりも高い精度を提供します。これにより、部品の層の特性が厳しい製造公差を満たしており、高度な産業用途に適しています。ANATECH RF-2Cは、真空中で動作するための完全に自動化されたマイクロプロセッサ制御スパッタリングチャンバーを備えています。ユニークなダブルスリッティングシャッターは、潜在的な粒子爆撃から基板を保護し、各材料の沈着速度と均一性を個別に制御することができます。TECHNICS RF-2Cには、高解像度の自動マスフローレートコントローラも搭載しており、プロセスの安定性を向上させます。RF-2Cには、緊急シャットダウンシステム、圧力リリーフバルブ、安全パラメータのリアルタイム監視など、多くの安全機能があります。そのコントローラーは爆発性の大気の操作に抗するように設計され、クラス1の条件を満たすために証明されます。ANATECH/TECHNICS RF-2Cは、使いやすさと最大限の柔軟性のために設計されています。ユーザーインターフェイスはフルカラーのタッチパネルで構成されており、監視と制御が容易です。コントローラソフトウェアは完全にカスタマイズ可能で、ユーザーはプロセスレシピを作成し、将来の検索のために生産データを保存できます。ANATECH RF-2Cは、イーサネット接続やダイレクトメールアラームによる遠隔操作も可能です。TECHNICS RF-2Cは、アルミニウム、クロム、シリコン、チタン、ニッケルなどの材料をコーティングすることができます。さまざまなソースから結晶を蒸発させるために使用することができ、スパッタエッチング材料の能力も持っています。RF-2Cは、高効率で正確で信頼性の高い製造方法を提供するように設計されています。
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