中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER X #9070897 を販売中

ID: 9070897
Sputtering system Au/Pd Target.
ANATECH/TECHNICS HUMMER Xは、基材の表面カバレッジを最適化するために設計されたスパッタ装置です。このシステムは、物理蒸着(PVD)などの薄膜蒸着プロセスに最適です。ANATECH HUMMER Xスパッタリングユニットは、高度なパルス電源を使用して、安定したスパッタプロセスを提供し、材料の均一な蒸着を確保することができます。TECHNICS HUMMER Xは、均一なカバレッジで最大16cm3/minの蒸着速度を提供するように設計されています。モジュラー真空チャンバーを備え、複数のソースで柔軟な構成を可能にします。このチャンバーはまた、優れたプロセス制御と監視のために最適化された光学ウィンドウ設計を備えています。さらに柔軟性を高めるために、このマシンにはプロセスまたは蒸発源を補完するためのオプションの蒸発ツールを装備することができます。HUMMER Xは、アセットが信頼性の高いパフォーマンスを提供することを可能にする一連の堅牢なコンポーネントを備えています。このモデルには、スパッタイオン化のための110 KWパルス電源と、蒸着速度の優れた制御が含まれています。また、15。6インチのRF平面マグネトロンを備えており、単一のパルスでの広いターゲットエリアとコーティングの均一性を提供します。さらに、この機器には、プロセス制御を最適化するために設計された最先端のソフトウェアパッケージが付属しています。ANATECH/TECHNICS HUMMER Xは、オペレータの安全性と利便性を念頭に設計されています。安全インターロックシステムなどの安全機能と、安全な作業環境を確保するためのパージと通気ユニットが含まれています。さらに、このマシンはコンパクトで可動性に優れており、既存の製造環境に簡単に統合することができます。ANATECH HUMMER Xスパッタリングツールは、薄膜成膜に有効なツールです。これは、優れたカバレッジとレートコントロールで最適化されたスパッタリングプロセスを提供します。このアセットは、安全性と利便性を考慮して設計されており、既存の製造環境に簡単に統合することができます。
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