中古 ANATECH / TECHNICS HUMMER 8.1 #9063447 を販売中

ANATECH HUMMER 8。1スパッタ装置は、コーティング成膜およびサンプルスパッタ作製アプリケーション用に設計されています。この最先端のシステムは、in situ計測ユニットを自動化しており、正確なスパッタ制御と並行解析を可能にします。TECHNICS HUMMER 8。1は、4 x 10-7 Pascalの低圧と大きな基板面積上のスパッタ均一性を有する、ロードロックチャンバー付きの高真空マルチソーススパッタリングマシンです。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8。1の主成分はスパッタ源です。これは、様々な金属や合金を堆積することができる高電流、回転可能なプラズマ源です。スパッタ源には2つの断面があり、スパッタデューティサイクル、ガス流量、圧力、温度を正確に制御できます。ユニークなデザインは、各セクションの独立したスパッタ制御を可能にします。このスパッタ源には、正確で信頼性の高いプラズマモニタリングデータを提供するPlasma View IIIパネルが装備されています。ANATECH HUMMER 8。1のオートメーションツールは、コントローラモジュール内の分散コンピュータ資産によって駆動され、スパッタモデルのすべての機能を制御するための包括的かつ柔軟なプラットフォームを提供します。オートメーション機器には、使いやすいアナログ制御とデジタル読み出しを備えたコントロールパネルが含まれています。また、チャンバーへの基板の迅速な積載と正確なスパッタ蒸着を可能にするロードロックシステムを備えています。さらに、TECHNICS HUMMER 8。1は独自のin-situ計測ユニットを備えており、正確なスパッタ制御と並行解析が可能です。この機械には、残留ガスアナライザ、オーガー電子分光法、Ar-ionフライス加工など、さまざまな分析ツールがすでに搭載されています。また、2つの光学ポートが付属しており、スパッタプロセス中の基板の監視も可能です。ANATECH/TECHNICS HUMMER 8。1は安全性を念頭に設計されています。緊急停止システムと水冷マグネットを備えており、余分な注意が必要です。さらに、このスパッタリングツールは、超高真空環境での信頼性の高い性能と低メンテナンスコストで動作するように設計されています。結論として、ANATECH HUMMER 8。1は、様々な金属や合金に精密で信頼性の高いスパッタ成膜を提供することができる高度なスパッタリング資産です。柔軟性の高いオートメーションモデル、現場計測機器、安全シャットダウンシステムを備えています。その高度な設計により、より大きな基板上のスパッタ制御、解析、均一な蒸着が可能です。