中古 ANATECH / TECHNICS 6.6T #9081670 を販売中

ANATECH 6.6Tは、高度な研究開発用途向けに設計されたスパッタ装置です。強力な6.6kW電源と高度なガス制御システムにより、強力で高精度なスパッタリング技術を提供します。このユニットには、サンプルとソースの正確な全体的な移動とアライメントのための6つのリニアドライブ電動軸が装備されています。高密度の平面成膜から、マルチレベル、マルチコンポーネントタンデムスパッタリングなどの高度なコーティング技術まで、さまざまなプロセス構成を備えています。スパッタリングプロセスは、アルゴンやキセノンなどの高貴なガスと酸素や窒素などの反応種からなるガス混合物から始まり、スパッタリングチャンバーに入ります。これはすぐに、通常スパッタされている材料で構成されているターゲットを打つエネルギーイオンのプラズマを生成する高電圧放電の適用によって続きます。これらのエネルギーイオンは標的原子を分解し、基質に堆積します。このプロセスは、圧力、温度、および電力のクローズドループ・フィードバックによって正確に制御され、監視されます。TECHNICS 6.6Tは、直感的で高度なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、機械の操作と制御が簡単です。これは、オペレータとスパッタ装置の両方のための組み込みの安全性と保護機能で設計されています。スパッタ蒸着の長さにわたってプロセスパラメータを監視および調整するための高度なプロセスおよび診断モニタリング機能も含まれています。ANATECH/TECHNICS 6.6Tは、汎用性の高い設計と機能セットにより、高度なスパッタリング技術を必要とする研究開発プロジェクトに最適です。高精度、高性能、柔軟性を兼ね備えているため、超薄膜、コーティング、合金を効率的かつ費用対効果の高い方法でスパッタリングするのに最適です。そのパワフルで信頼性の高い設計により、今後何年にもわたって信頼性の高い反復可能な結果が保証され、研究者や開発者にとっても最適な選択肢となります。