中古 AJA Orion 8 #9171669 を販売中

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製造業者
AJA
モデル
Orion 8
ID: 9171669
ウェーハサイズ: 6"
Reactive RF sputter deposition system, 6" (7) AJA High vacuum magnetron sputtering sources (2) RF Generators 300W (3) DC Generators 750W for single or multi-layer deposition or co-sputtering 4” Substrate With rotation 0-40 RPM Radiant heating: 850˚C RF / DC Biasing: 100W RF generator Currently de-installed.
AJA Orion 8は、NANDフラッシュ、LCD、 OLED、 CIS、 MIST、太陽エネルギーなどのさまざまな用途で基板に薄膜を堆積させるために設計された最先端のスパッタリングシステムです。Orion 8は統合された設計および先端技術による優秀な性能および費用効率を提供します。AJA Orion 8のコアは、8ソースのテーブルトップユニットで構成されており、効率的なスパッタリングソースレイアウトが最適な薄膜均一性を提供します。マグネトロン源と平面コイルのインライン構成はスパッタリングカバレッジを高めますが、ユーザーフレンドリーなソフトウェアはプロセスを正確に制御します。標準キャリアロボットやコンベアシステムなど、幅広いハードウェアシステムに簡単に接続できます。コンパクトなサイズで、床面積を最小限に抑え、生産環境に容易に適応できます。ユーザー中心の設計は維持のための部屋への容易なアクセスを可能にします。内蔵のシステム機能により、プロセスの自動最適化と適応型フィードバック制御が可能になり、プロセスの安定性と歩留まりの向上が保証されます。安全性は、室圧とガスの流れのための複数のセンサー、ロックアウト/タグアウトのインターロック、および放射熱源に対する人員の保護を含む、広範な安全システムによって提供されます。オリオン8の最先端の機能セットには、高出力/高寿命性、低所有コストの信頼性の高いソース、ガス組成、流量、温度などのチャンバー変数をより良く制御できるマススペクトル技術が含まれています。これにより、迅速なセットアップの最適化と堅牢なプロセスが可能になります。AJA Orion 8は非常に効率的で信頼性の高いスパッタリングシステムで、高品質のフィルムに費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。オリオン8が提供する優れた制御、精度、および性能により、お客様は優れた生産歩留まりを確保しながらサイクルタイムを短縮できます。
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