中古 AJA ATC Orion 5 UHV #9049698 を販売中
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販売された
ID: 9049698
ヴィンテージ: 2006
Sputter coater
Currently configured for manual operation, fully automatic capable
Substrate bias and rotation
(3) Independent sputter guns
(2) DC Power supplies, 500W
RF Power supply, 300W
Substrate size:
< 5.75" diameter (sputter-up) with z-axis shift (2")
Rotation to 20 rpm
Heating up to 800ºC with RF bias capability to 50 W RF
Sputter guns:
(3) 2" O.D. Targets
With integrated shutters for RF or DC (metallics/dielectrics) sputtering
Confocal, sputter-up arrangement
Capable of being upgraded to (5) cathodes
Power supplies:
(2) ADVANCED ENERGY 500 W DC supplies
1300 W Seren RF generator with manual impedance match and selector switch
Substrate heating:
PID Temperature programmable controller
(2) 1000 W Quartz lamps for heating inside water-cooled reflector box
Vacuum generation:
PFEIFFER 500 L/sec turbo pump
With magnetic bearing on vac side and ceramic bearing on motor side
Backed by ADIXEN ACP15 dry rotary lobe pump: Oil-free deposition system
Sputtered: metals and metal oxides:
Copper
Precious metals
Nickel
Iron
Vanadium
Molybdenum
Aluminum
Alumina
Carbon / Graphite
Currently de-installed and stored in a cleanroom
2006 vintage.
AJA ATCオリオン5 UHVは、高精度・高精度の材料加工に使用されるスパッタ装置です。この高度なシステムは、6。5x10-7 Torrの最大真空圧力を維持できる強力な高真空ユニットを使用しています。5ターゲットのスパッタリングチャンバーを備え、8グランドの加熱アノードを備えているため、高出力および低出力スパッタリング操作を含むさまざまなスパッタリング構成を可能にします。また、モジュラー設計、調整可能なターゲットから基板までの距離、および自動化された高レートプラズマ洗浄機能を備えています。スパッタリングの進歩に加えて、ATC Orion 5 UHVツールは基板の温度制御を備えています。このアセットは、500°Cまでのアクティブ加熱範囲をサポートし、基板表面の正確な温度制御を可能にします。この機能は、熱処理が金属化された部品の特性に劇的に影響を与える可能性があるため、フィルムの形態と組成を制御するのに役立ちます。AJA ATC Orion 5 UHVは、正確なモーションコントロールを提供し、ターゲット表面を汚染することなく正確なコーティング成膜を可能にします。モーションコントロールは、リニアスキャンパターンとヘリカルスキャンパターンを使用して柔軟なプログラミングを可能にし、フィルム蒸着速度を保証します。また、X-Y平面でターゲットを振動させてターゲットを正確にスキャンし、ターゲット間の拡散の影響を低減する発振スキャンモデルも備えています。最後に、ATC Orion 5 UHVは、スパッタリングプロセスパラメータ内の精度と再現性を確保するための高度なオートメーション装置を備えています。このシステムには、コンピュータ制御の操作、マルチプログラムシーケンス機能、および簡単な操作のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルプログラミングツールが含まれています。また、スパッタリングパラメータとパラメータを追跡して、コーティング結果の再現性と再現性を確保します。全体的に、AJA ATC Orion 5 UHVは強力で高精度なスパッタリングユニットで、薄膜蒸着プロセスの実行に最適です。その活発な加熱範囲と精密なモーションコントロールは、材料の沈着に対するより大きな制御を提供します。自動化された機能は、効率を最大限に高め、材料の加工に要する時間を短縮します。これらの機能により、ATC Orion 5 UHVは多くの薄膜アプリケーションに最適なソリューションです。
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