中古 ACCRETECH / TSK AD-2000T #9187561 を販売中
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販売された
ID: 9187561
ウェーハサイズ: 12"
Dicing saw, 12"
Frames and cassettes:
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" Infineon frame C66365-A0034-C068-03-0006
12" ePAK Resources EFF12-300-3,5-EM-59
12" Disco frame DTF2-12-1
12" Frame magazine metal (Infineon standard)
Accuracy:
Kerf off-center: < 5 µm (6σ)
Kerf off-center Y1 to Y2 axis: < 3 µm (6σ)
Z-Axis repeatability: < ± 1µm (6σ)
Non contact set-up repeatability: < σ 2 µm (6σ)
Difference between chuck set-up and non-contact set-up: Max 4 µm (6σ)
Y-Movement (Y-axis for 1st and 2nd spindle):
Closed loop system
Effective stroke of each axis: min 310 mm
Indexing setting range:
0,0001 (0,1µm) to 310 mm for Y-axis and for y-axis.
Cumulative indexing error: < 3µm (6σ) at full range of 310mm (Y1-axis)
Single indexing error: < 2µm (6σ) at full range of 5mm
X-Movement:
Effective cutting stroke: 310mm
Stroke setting range: 1" - 12"
Programmable cutting speed: 0,1 to 300mm/s
Back movement speed 1000mm/s
X-Axis straightness: < 3 µm (6σ) /310 mm
Perpenticularity between X-axis and spindle shaft: < 8 arc sec (6σ) (1 arc sec = σ / 180 x 3600)
Perpenticularity between X- and Y- axis: < 10 arc sec (6σ)
Z-Movement:
Minimum step: 1 µm (6σ)
Effective stroke: > 14 mm (2" Blade)
Z-Axis speed: 50.0 mm/sec
Z-Axis repeatability: σ 1 µm (6σ)
Theta-movement:
Rotation angle: 0° - 320° CW and 60°CCW from initial point
Rotation speed: 45°/sec
Repeatability: ± 2 arc sec (6σ)
Closed loop system
Spindle:
Temperature stable spindle
Output: 1800W
Rotation speed: Up to 60.000 rpm
Dynamic vibration measured on any point of the spindle: Up to 55.000 rpm: < 0.5 µm
Blade connection: ¾"
Si-wafer cleaning system:
Atomizing nozzle at cleaner (N2/DI water)
Rotation range: 100 to 3000 rpm (Programmable)
Time setting: 1 - 999 sec (Programmable)
Stop position accuracy: ±1°
Voltage: 210 VAC ± 6%
3 Phase
50 Hz ± 1%
Compressed air pressure:
0,5 to 0,8 MPa
350 NL/min
N2:
0,5 to 0,8 MPa
200N L/min
Wheel coolant / Spinner cleaning water / Water curtain:
0,2 to 0,4 MPa
14 L/min
Spindle coolant:
0,2 to 0,4 MPa
3,0 L/min
Rinsing water:
0,2 to 0,4 MPa
1,0 L/min
Duct capacity >5 m3/min.
ACCRETECH/TSK AD-2000T Scribing/Dicing Equipmentは、半導体ウェーハなどの基板を加工するための高精度ツールです。このシステムは、スクライビングとダイシングの両方のアプリケーションで、これらの材料を正確に切断できるように設計されています。TSK AD-2000Tは、高速カッティングヘッド、材料サポート用のテーブル、および高精度かつ再現性のある結果を提供する高度なクローズドループ制御ユニットを備えています。この機械は、最大送り速度4500mm/秒、直線水平切断速度300mm/秒の5軸カッティングヘッドと、最大900mmの基板に対応できるXYZリニアテーブルで構成されています。カッティングヘッドは、基板内の超微細な精密ポイント、ライン、形状を正確かつ迅速にスクライブするように設計されています。ダイレクトドライブDCサーボモータと高度なモーションコントロールツールによって駆動されるリニアアクスルは、基板内の最小の機能を処理する場合でも、高精度、再現性、高速性を実現します。ACCRETECH AD-2000Tは、材料の正確なスクライビングとダイシングを保証するクローズドループ制御モデルも備えています。この装置は、ダイヤモンドスクライビングブレード、超硬ブレード、レーザーカッティングヘッドなど、さまざまな種類のブレードで使用できます。さらに、AD-2000Tには、エラー訂正と改善されたプロセス機能を可能にするオプションのビジョンおよび画像処理システムを装備することができます。ACCRETECH/TSK AD-2000Tは、簡単で繰り返し可能な部品プログラミングのための高度なソフトウェアツールのスイートを備えています。このソフトウェアは、2Dおよび3D図面、編集、ネスティング、3軸グラフィックシミュレーションなど、CAD/CAM機能の包括的なスイートを提供します。これにより、ユーザーはスクライブとダイシングの両方のアプリケーションでユニットを迅速かつ正確にプログラムすることができます。さらに、TSK AD-2000Tのクローズドループ制御機は、安全な作業環境とユーザーのプロセスへのシームレスな統合を保証します。これにより、プロセスのパフォーマンスと再現性のレベルが向上します。高度なハードウェアとソフトウェアを組み合わせたACCRETECH AD-2000Tは、スクライビングとダイシングアプリケーションの両方で基板を処理するための効率的で信頼性の高いツールを提供します。
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