中古 AIXTRON Tricent #9190702 を販売中
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販売された
ID: 9190702
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2008
Atomic layer deposition system, 12"
Frame:
Tricent ALD Process cluster oxide
Gas mixing system
Precurson liquid delivery system
ALD Reactor
Vacuum and cooling systems
(2) Tricent ALD Heat exchangers: 220°C
Automatic wafer transfer system
Tricent ALD double O-ring pump
Options:
Tricent ALD Ozone generator for 2 PMs
Tricent ALD set of precursor tanks for vaporizer for 2 PM's
Automatic wafer transfer system:
Fully automated cassette-to-cassette wafer loading and unloading
Configurations: 25 x 300 mm
(3) FOUP loading ports
Loadlock A: Batch 25 x 300 mm
Loadlock B: Batch 25 x 300 mm
Vacuum handling platform: 4 MESC-type process modules
Wafer handling platform includes:
Front end atmospheric module
Front end atmospheric robot
Vacuum transport chamber and frame
MagnaTran magnetically driven
Fully encapsulated vacuum robot
Transfer arm with high temperature end effector
Wafer alignment module
Tricent ALD O-Ring pump:
PM1/PM2 Tricent ALD Process cluster oxide: (2) Deposition modules
Each PM:
Gas mixing system
Ventilated gas mixing cabinet
Electro-polished 316 SUS tubing
VCR-Connectors all orbital welded
Individual control valves:
Pressure indicator switch
Check valves
Particle filters
Pneumatic valves
Gas line:
Reactive gas line: 03 including Destruct
Purge gas line: Ar
High-Flow / Low-Flow purge configuration
Electronic flow controllers and pneumatic valves for various purge lines
Individual pneumatic valves for reactive gas line
Individual downstream pressure controls with electronic mass flow meters for:
(3) reactive gas line and various purge lines
ALD valve block with high-speed switching
ALD valves for reactive gas and various purge lines
ALD valve block temperature-controlled and adapted to reactor lid
Safety configuration: Normally closed
Precursor liquid delivery system:
(2) Liquid precursor lines
Electronic mass flow controller
Pressure controller
Pneumatic valve for solvent line
Liquid flow meters
3-position liquid medium valves for each precursor line
Individual manual separation valves
Electronic mass flow controller
Pressure controller
Pneumatic valve for solvent line
Optional: precursor and solvent tanks
(1) Mist preparator wand, 1.8 liter nominal volume
Single-Injector Tri-Jet liquid precursor evaporation systems:
(2) Contact-less cylinder evaporators
Individually controlled temperature range: 40 C - 250 C
High precision injectors for the liquid precursor lines
Joint Pre-heated carrier gas line
Temperature controlled: 40 C - 230 C
Spare provision: He purge line
Joint run-vent-purge stack
Temperature controlled: 40°C - 230°C
Separate precursor box with room temperature bubbler
Ventilated enclosure with Nitrogen purge line
Smoke detector and ventilation flow sensor integrated in Precursor Box
Single room temperature bubbler for high vapor pressure precursors with TMA
Control valve with pressure indicator switch
Particle filter
Downstream pressure control with electronic mass flow meter
Dual 2/2 way valve for carrier line
Single joint run line with ALD valve
ALD reactor:
Reactor cabinet
Hot wall aluminum reactor chamber, max 220°C.
Showerhead with separation between reactive gas and metal-organic precursor flows
Reactor walls, reactor lid, and showerhead assembly temperature controlled by heat exchanger with thermal liquid
Thermal liquid
Aluminum nitride substrate heater
Closed-loop temperature controlled resistive heater
Wafer transfer lift pin mechanism with vertically movable substrate heater assembly.
Wafer transfer MESC port with pneumatic slit valves
Vacuum system:
Pressure sensors and pressure controllers
Designed for process pressure: up to 10 mbar
Heated exhaust line up to outlet flange on the process module
Throttle valve and check valves
Cooling system:
Type: Julabo
Digital flow meters, temperature transmitters, and manual separator valves for each cooling branch.
Tricent ALD Heat exchanger
One per module required for system operation
For operation with thermal liquid (Thermal H 250)
Maximum operating temperature 220°C.
2008 vintage.
AIXTRON Tricentは、III-V、化合物半導体、誘電体、金属層などの様々な材料を任意のサイズの基板に堆積するために設計された高性能の誘導結合プラズマ(ICP)原子炉です。低圧直流(DC)駆動ガス流源で、パルス直流周波数8〜20mbarで動作し、最大600Wの電力伝達能力を15kHzします。原子炉室内の電界と均一な熱分布は、電子サイクロトロン共鳴技術によって生成されます。トライセントには完全に封じられた反応室があり、基板上の望ましい層の効率的で均一な堆積のための最適化されたスペースを提供します。そのデュアル周波数RFジェネレータと磁界ジェネレータは、広い周波数範囲で動作し、正確なプロセス条件をシミュレートすることができます。このシステムには、真空シール可能なカバー、ホットガスバルブ、およびフレキシブルな電気接続が装備されていますが、基板ホルダーはさまざまなサイズと形状の基板をサポートおよび保持するように設計されています。AIXTRON Tricentは、高い蒸着率と全体的な膜均一性を実現することができるため、層の蒸着プロセスにおいて非常に効率的です。その温度制御基板ホルダーは、基板全体にわたって優れたプロセス均一性を保証するために、チャンバー内のエネルギーの均一な分布を保証します。Tricentの内部設計には、高速ガススイッチング、簡素化されたメンテナンスルーチン、洗浄および冷却機能の強化などの機能も含まれており、高い再現性とエッチングおよび蒸着プロセスの長期的な安定性を提供します。さらに、AIXTRON Tricentは、自動化と監視の要件に費用対効果の高いソリューションを提供することにより、既存の生産ラインに簡単に統合できるように設計されています。AIXTRONの粒子検出およびガス測定システムと完全に互換性があります。この高度な原子炉は、高度な材料を生成する信頼性と使いやすい機能を提供します、特徴サイズの削減、改善されたプロセスの均一性。
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