中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9196230 を販売中
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販売された
ID: 9196230
ウェーハサイズ: 5"-8"
ヴィンテージ: 1995
Rapid thermal processor annealing system, 5"-8"
Electronics
Mass flow controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate: Programmable
1 – 180°C Per second
Ramp down rate is temperature
Radiation dependent
Maximum 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
1995 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108は、ハイレベルな性能を実現する先進的で高速なサーマルプロセッサです。セラミックス、金属、ポリマー、複合材料など、幅広い材料の急速な熱処理を加速するように設計されています。ラピッドプロトタイピング、研究開発、製造生産に最適な多種多様な機能を搭載しています。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108は、必要な温度で最適な結果を提供する2つの高トルク、熱風ファンを備えたシングルチャンバー、プログラム可能な機器です。これらのファンは独自に調整して正確な温度制御を可能にし、標準の温度制御バッチ炉の3倍の速度で冷却することができます。この炉の最高温度は1200°Cで、炉床プレートサイズは300mmです。それに過熱または過圧の場合に炉を締める作り付けの自動水冷却された油圧装置があります。HEATPULSE 8108のインテリジェンスは、包括的なメニュー構造と直感的な表示を備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスによって管理されています。このインターフェイスを介してプロセスをプログラムして監視するのは簡単です。プロセッサはまた、コンピュータ接続を備えており、複数のユーザーが自分のワークステーションまたはネットワーク化されたコンピュータからユニットにアクセスすることができます。また、Quick-HeatingTMなどのソフトウェアツールをサポートし、迅速なサイクルタイムと複数のレシピストレージを可能にします。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8108のその他の機能には、ガス分配機、熱プロファイルを最適化するための内蔵温度ランピングプログラム、セラミックライニングを備えたステンレス製シェルがあり、壊れやすい材料を熱衝撃から保護します。また、自動アラームツールと信頼性の高い操作のためのフォールトトレラント設計を備えています。これらの機能を組み合わせることで、HEAT PULSE 8108は信頼性と柔軟性に優れた急速なサーマルプロセッサとなります。
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