中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9161356 を販売中

AG ASSOCIATES Heatpulse 8108は、幅広いマイクロエレクトロニクス材料に高品質の熱処理を提供するために設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。最先端の装置は、制御された大気中で基板を迅速かつ正確に加熱することができます。システムは、ベースユニットと積極的に冷却されたプラテンで構成されています。ベースユニットには、ヒーターとコンピューター制御のプロセスコントローラが収納されています。プロセスコントローラは、加熱パラメータを制御するために使用されます。それはまたプロセスの間に基質に加えられる冷却の率および圧力を制御するのに使用することができます。積極的に冷却されたプラテンには、温度制御用の熱電対と基板のクランプと動きのための高精度のエアベアリングのセットが含まれています。単位に-25°Cからの600°Cまで温度の大きい温度較差があります。基板全体の温度均一性は+/-7°Cで測定され、熱処理の品質を保証します。均一な冷却機構により、ホットスポットや損傷のない均一な速度でウェーハを冷却することができます。また、温度、ランプレート、圧力などのパラメータを制御する方法や、基板の温度の均一性と均一な冷却を監視する方法を提供することにより、正確で繰り返し可能なプロセスをサポートしています。また、他のパラメータの中で膜厚、亀裂深度、屈折率を測定する機能も備えています。ユーザーフレンドリーなインターフェイスとデータロギング機能により、ツールの分析と制御が容易になります。この資産はまた、部品と消耗品をすぐに利用できる強力なアフターサービスネットワークをサポートしています。要約すると、AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108は、高品質の熱処理を提供することができる効果的な急速なサーマルプロセッサです。広い温度範囲、正確で反復可能なプロセス制御、およびユーザーフレンドリーなインターフェイスを提供します。基板の温度均一性と均一な冷却を監視する機能により、結果が信頼性と信頼性が保証されます。その売り上げ後のサービスネットワークはそれを多くの適用のための魅力的な選択にします。