中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9199960 を販売中

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AG ASSOCIATES Heatpulse 610
販売された
ID: 9199960
ヴィンテージ: 2013
Rapid thermal annealing system 2013 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 610は、高速アニーリング、酸化、拡散、再結晶化処理のニーズを提供する強力な急速熱処理装置(RTP)です。この装置は、研究開発、生産、および特性評価研究のために設計されています。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610の主な特徴は、高温の均一性と再現性、高速ランピング機能、およびコンパクトな設計における低熱質量です。Heatpulse 610は4つの独立して制御されたヒーター要素から成っているバッチシステムです。一度に最大4つのウェーハを処理することができます。最高温度は2000oCであり、典型的なランプレートは300K/secから5K/secの範囲です。HEATPULSE 610の高温均一性は、高度な温度ドリフト補償と水冷設計に起因します。さらに、ウェーハは真空ドアを介して簡単にロードおよびアンロードすることができます。AG ASSOCIATES Heatpulse 610には、さまざまな高度なプロセス制御機能があります。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた64ビットオペレーティングユニットを装備しています。これにより、ユーザーは簡単に実験条件を設定して監視することができます。また、レシピの自動作成と実行、高度なデータロギングと分析のオプションもあります。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610は非常に構成可能で、さまざまなアニールおよび沈着プロセスを実行することができます。機械は急速なアニーリング、酸化、拡散および再結晶プロセスが可能です。それに複数のガス種および圧力変数のためのガス配達用具が付いている拡散の部屋があります。アセットには、焼結と酸化物の堆積のための2つのるつぼボートもあります。全体として、AG ASSOCIATES 610は、高速ランピング、低熱質量、高温均一性、および設定可能なプロセス機能により、研究および生産要件に最適な急速温度プロセッサです。直感的なインターフェースにより、ユーザーはプロセスを簡単にプログラムして監視することができます。また、様々なアニーリング、酸化、拡散、再結晶プロセスが可能です。Heatpulse 610は、さまざまな研究開発、生産、特性評価研究での使用に最適です。
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