中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 410 #9148956 を販売中

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ID: 9148956
ウェーハサイズ: 2"-4"
Rapid thermal processor, 2"-4" Quartz process chamber (21) Tungsten halogen lamps Closed-loop temperature control Fast heating and cooling rates Temperature range: 400-1250° C Steady-state temperature stability: ± 2° C Temperature monitoring mechanisms: Extended range pyrometer (ERP) Heating rate: 1-200° C/sec Cooling rate: max 150° C/sec Maximum non-uniformity: ±5°C across a 6″ wafer at 1150°C Implant: 1E16 50 KeV Implant uniformity ≤0.3% Steady state time: 1-9999 sec Process gases: Optional MFC, Up to 4.
AG ASSOCIATES Heatpulse 410 Rapid Thermal Processorは、集積回路やその他のデバイスの製造に使用される最先端の機械です。Heatpulse 410は、厳しく制御された再現可能な環境で、半導体基板の急速で信頼性の高いサーモサイクリングを提供するように設計されています。AG ASSOCIATES Heatpulse 410は、高精度で迅速なサーマルサイクルを提供するように設計された、高度な耐食性、高速マイクロプロセッサです。このプロセッサは、ウェーハ全体の温度勾配を最低限に抑えます。このプロセッサは、高精度な温度制御と優れたサイクル再現性を実現するように設計されています。Heatpulse 410は高度なRF保護を採用し、信号干渉による熱応力を最小限に抑えます。また、外部信号やクロストークとの潜在的な干渉を最小限に抑えるために、高度な超低電気ノイズレベルを備えています。AG ASSOCIATES Heatpulse 410には、専用の温度、パルス、および室内温度制御変調器を備えたオンボードタッチスクリーンコントロールパネルが含まれています。また、温度、圧力、パルス幅などの個々のウェーハパラメータを連続的に読み取ることができるリアルタイム熱監視も備えています。Heatpulse 410は、シングルウェーハとバッチ処理の両方をサポートするように設計されています。これは、ユーザーがさまざまなタイプの処理に対応するようにマシンを構成することができ、複数の埋め込まれたサーマルプロファイルが含まれています。さらに、マシンは、最大加熱速度、最大冷却速度、最大浸漬時間などのさまざまな熱工程の要件に対応するように構成することができます。AG ASSOCIATES Heatpulse 410は、高温センサやフェイルセーフ電源管理などの高度な安全機能を備えており、ハードウェアやソフトウェアの障害から機械を保護します。このマシンはまた、緊急時にウェーハを冷却するために使用できるマルチポイント冷却システムを備えています。全体的に、Heatpulse 410は、厳しい温度制御と優れた再現性を提供するように設計された高度で信頼性の高い急速なサーマルプロセッサです。高度なマイクロプロセッサ、信頼性の高いRF保護、リアルタイムの熱監視を備えています。また、高温センサ、フェイルセーフ電源管理、マルチポイント冷却システムなど、さまざまな安全機能を備えています。
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