中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 610 #9175565 を販売中

AG ASSOCIATES Heatpulse 610は、高い生産スループットとプロセスの均一性を実現するために設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。このプロセッサは、4ゾーンの温度制御を備えた連続真空密封炉を使用して、サンプルを迅速かつ一貫して処理します。4つのゾーン制御により、サンプル幅にわたって正確な温度制御が可能になり、冷却と過熱の問題を低減します。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610は610×485mmの接合面積を持ち、最大60枚のウェーハを使用でき、最高温度1000°Cまで加熱できます。精密ヒーターの要素に± 0。5°Cの熱安定性があります。炉プロセスの熱環境を制御するために可変率のガス流量が使用され、すべてのウェーハで均一なプロセス温度が保証されます。Heatpulse 610は、低融点温度合金、アニール、拡散、高温/高熱放出、酸化、真空アニールなど、幅広いプロセスレシピを提供しています。変形結合やMEMSなどの特殊プロセスにも対応しています。すべてのプロセスは、オンボードコントローラと高レベルのレシピプログラミングを使用して制御されます。HEATPULSE 610は、耐久性に優れたガラスアルミニウム構造で、4スクリューアクセスドアとビューポートを備えています。半導体やマイクロエレクトロニクス、太陽光発電、MEMS、航空宇宙などの業界環境に適しています。プロセッサはユーザーフレンドリーで、直感的なタッチスクリーンとリアルタイムのプロセス監視を提供するカスタマイズ可能なディスプレイを備えています。また、信頼性の高い生産出力のための高度なエラー検出と防止機能も備えています。さらに、AG ASSOCIATES Heatpulse 610には、ユーザーのデータ分析、制御、監視を容易にするソフトウェアパッケージが装備されています。これらのツールは、生産プロセスにおける市場の時間とコストを削減し、より高い歩留まりとより速い投資収益を可能にします。信頼できるパフォーマンスを確保するために、プロセッサは1年間の保証で保護されています。AG ASSOCIATES HEATPULSE 610はまた、トレーニングやテクニカルサポート、予防保守オプションなどのサービスを提供し、お客様の投資を最大化し、プロセッサから最大の価値を引き出すのに役立ちます。