中古 AIO SF 600 #9139571 を販売中

AIO SF 600
製造業者
AIO
モデル
SF 600
ID: 9139571
ウェーハサイズ: 6"
AIO corporation IPA vapor dryer,6".
AIO SF 600は、高感度で大面積のリソグラフィープロセスを開発するために設計されたフォトレジスト機器です。正と負の両方のフォトレジストでの使用に適しており、金属パターン、配線、およびフォトエッチングプロセスの正確な開発を可能にします。システムは、開発者、露出ユニット、洗浄ユニット、真空チャンバーの4つの異なるユニットで構成されています。開発者は2段階のプロセスです。第1段階では、フォトレジスト溶液と開発者濃縮液を混合し、基板に噴霧する。これは、フォトレジストが適切に開発されていることを保証する、開発者の効果的な濃度を作成します。第2段階はウェットアウトステップです。これは、開発者が基板上に均等かつ均質に分布するようにするために必要です。露光ユニットはフォトレジストにマスクを通して必要な露出を与え、回路をパターン化または適切なフォトエッチング処理を適用することができます。その調整可能なソースとカスタマイズされた露出時間は、高精度の結果を得るために短く均一な露出を保証します。その特別に設計されたレンズユニットは、最大パターン定義のための均質な照明を提供します。洗浄ユニットは、トンネリングや残留物の蓄積を防止しながら、最大のフォトレジスト除去のために設計されています。インテリジェントコントロールにより、最適なフォトレジスト除去のための洗浄時間、圧力、温度を正確に調整できます。このユニットには、最大の効率と使用量を実現する再循環リンス水機が内蔵されています。真空チャンバーは、フォトレジストが所望のパターン領域から流出しないようにするのに役立ちます。その作り付けの調節可能な圧力および暖房用具は真空の一貫した、正確な作成を保障します。調整可能な加熱は、フォトレジストの熱流を調整して、フォトレジストが接着やその他の物理現象に対してより耐性があるようにするのに役立ちます。SF 600は、高度なフォトレジスト資産であり、あらゆるリソグラフィまたはエッチング・プロジェクトを完了する精度と精度を提供します。その特徴は、金属パターン、配線、フォトエッチングプロセスの高品質な開発を可能にします。
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