中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9132537 を販売中

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ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702
販売された
ID: 9132537
ヴィンテージ: 2007
Spin rinse dryer (SRD) 2007 vintage.
ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702は、半導体ウェーハの加工に特化したフォトレジストシステムです。それはフォトレジスト技術の分野で継続的な革新です。このユニットは、フォトレジストプロセスの精度とスループットを最適化し、ウェーハアライメントエラーを大幅に低減するように設計されています。この機械の中心の部品は高速および正確さを達成するために用具を可能にするスピンタワーです。タワーには高度なCCDカメラアセットが装備されており、ウェーハ上にフォトレジストを正確に配置し、均等に配布します。また、最適なウェーハ処理結果を提供するために、デジタルフィルタリングモデルも含まれています。ASSI SV-702は高効率で、最大スピン速度は3,500rpmです。フォトレジストがウェーハの端に達したときに自動的に動きを止めることができ、ウェーハに適用されるフォトレジストの層が均一であり、隙間がないことを保証します。これにより、より高い純度と精度を達成することができます。さらに、スピンタワーにはデジタル温度センサーと加熱/冷却素子が装備されており、処理前および処理中にウェハの温度を正確に制御するために使用できます。ADVANCED SPIN Equipment INC SV-702はまた、ウェーハからフォトレジストの洗浄プロセスを促進します。このシステムは、洗浄に必要な時間を大幅に削減する、よく設計された転送メカニズムを利用しています。クリーニング機構は、ウェーハからフォトレジストを同時に回転させて噴霧することも可能で、クリーニングプロセスをさらに促進することができます。また、洗浄機構には化学希釈モードと半導体レジストドライヤーがあり、洗浄完了後にレジスト層を素早く乾燥させることができます。SV-702は最先端のフォトレジストユニットで、半導体ウェーハに比類のない加工精度と速度を提供します。光学CCDアライメントマシン、デジタル温度センサー、レジストドライヤーなどの高度な機能を備えています。これらの機能は、最適なウェーハ処理結果を提供し、ウェーハのアライメントエラーを大幅に低減するように設計されています。このツールは、任意の半導体製造設備に貴重な追加です。
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