中古 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9132536 を販売中

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702フォトレジストシステムは、自動半導体ウェーハ処理用に設計された先進的な生産性ツールです。この自動フォトレジストユニットは、ウェーハ表面処理のための迅速なコート、スピン、露出プロセスが可能です。電源、コントローラ、バキュームテーブル、ライトシャッターモータなどの部品を内蔵しており、ウェハ加工の性能向上を実現しています。ASSI SV-702は、薄膜成膜に使用する場合に特に有益な先進的なスピンコーティング技術を利用しています。この技術はスピン速度、時間、温度を制御し、基板表面のコーティング材料の量を正確に制御することができます。この精度は、迅速かつ乾燥が必要な場合にも、スピン乾燥用途にも有益です。真空テーブルは、スピンコーティング、乾燥、露出および開発プロセス中にウェーハを確実に保持します。露出プロセスはユーザーが光線量の露出時間そして量を正確に制御することを可能にする電子ライトゲートおよびシャッターモーターを利用します。ユーザーはまた洪水の露出、または金属の上昇の露出のような露出のタイプを、制御できます。ツールの再開発機能は、以前に開発されたパターンの再露光と発見を可能にします。このアセットには、ユーザーがさまざまな処理ステップで簡単にウェーハを転送して配置できる高度なウェーハキャリアモデルもあります。ADVANCED SPIN Equipment INC SV-702は、カラーグラフィックスモニター、キーパッド、ソフトウェアを備えた包括的なコンピュータコントロールシステムも組み込まれており、複数の露出パラメータセットを作成できます。自動化されたコントロールユニットを使用すると、露出パラメータを素早く設定および調整し、労力を最小限に抑えてさまざまなジョブを実行できます。SV-702フォトレジストマシンは、高精度のウェーハ加工および表面コーティングに理想的なツールです。高度なスピンコーティング技術と、光ゲートとシャッターモーターを備えた真空テーブルを備えており、ユーザーが正確な露出プロセスを達成することができます。統合された再開発機能とウェーハキャリアツールにより、迅速かつ再現性の高いウェーハプロセスのプロセス自動化がさらに強化されます。自動化された制御アセットにより、露出パラメータを簡単に調整でき、複雑なウエハプロセスと薄膜成膜を容易かつ迅速に行うことができます。