中古 ADIXEN ASD 2004 #9081691 を販売中

ADIXEN ASD 2004は電子回路の精密パターニングのために設計されているフォトレジスト装置です。このシステムは、スマートフォンやその他のデジタルデバイスなどの小規模電子デバイスのプロトタイピングや、大規模な生産に最適です。このユニットは、メインプロセスチャンバー、サンプルステージステーション、モニターステーション、フォトレジスト加工チャンバーで構成されています。主要なプロセス部屋は2つの真空単位に分けられます。サンプルステージステーションはユニットの1つの内部にあり、最大6つの4インチウェーハをバッチで受け付けるように設計されています。それは均一なプロセスの結果のための部屋に垂直そして平行複数のサンプルホールダーを含んでいます。ウェーハは真空とクランプで所定の位置に保持され、高度なプロセスレシピをサポートするために200°Cまで加熱することができます。サンプルステージは、均一でない面から任意の傾きを再現するように調整することができます。フォトレジスト加工室はもう一方の真空ユニットにあり、フォトレジスト材料のスピンコート用途に使用されます。機械の内部の部屋は流動管理用具および高速スピンコーターが装備されています、10-8000rpmからのスピンコートを可能にします。また、正確で反復可能な環境プロファイルを維持するための統合温度制御も提供します。アセットには、モデルの右上隅にあるモニターステーションも装備されています。モニターステーションは、真空、温度、速度などの制御変数を機器上で調整できるように設計されています。また、リモートコンピュータとグラフィカルユーザーインターフェイスとの統合用のUSBポートも提供します。ASD 2004は、高性能アプリケーションに必要なすべての機能を提供する、印象的なフォトレジストシステムです。様々なフォトレジスト材料やプロセスレシピを取り扱うように設計されており、高解像度の画像と基板の均一なカバレッジを提供することができます。ユニットは使いやすく、優れた再現性、精度、パフォーマンスの精度を提供します。その高度な設計と機能により、プロトタイピングと生産の両方のための幅広い電子デバイスの精密パターニングに最適です。