中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP #9177828 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP
販売された
ID: 9177828
ウェーハサイズ: 12"
Deep trench etch's, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Hart APリアクターは、フォトレジストのアッシングおよび反応イオンエッチング用に特別に設計された半導体エッチング装置です。この化学的に不活性なシステムは、エッチング選択性の要件に対して高いスループットと精度を提供します。これは、精度と精度を向上させながら、資本コストと運用コストを削減するように設計されたオールインワンユニットです。AMAT Centura Hart APリアクターのエッチングチャンバーは、アルミニウムで保護されたステンレス鋼から構成され、最大の強度と長期耐久性を提供します。機械の高度の設計は密封された部屋、両端の電極および調節可能な電極の間隔を特色にします。これらの機能を組み合わせることで、調節可能なガス流量とチャンバー圧力制御により、均一なエッチング処理が可能になります。APPLIED MATERIALS Centura Hart APリアクターは、非常に薄い層の材料を正確にエッチングする力を持っています。これは、0。01ミクロンの実証済みの再現性と-79°Cから38°Cの温度範囲で、手動または自動モードで動作します。さらに、内蔵の抵抗センサにより、エッチング処理を正確に制御できます。リアクターは直感的なユーザーインターフェイスも備えており、ユーザーはプロセスをリアルタイムで監視することができます。洗練されたソフトウェアにより、ユーザーは、オフサイトインターフェイスからチャンバー圧力、ガス流量、および電極間隔を制御および調整することができます。さらに、このソフトウェアには、高度な安全制御と組み込みのエッチングレシピが含まれているため、プロセスパラメータの切り替えや調整が簡単です。Centura Hart APリアクターは、最も要求の厳しいフォトレジストおよび反応イオンエッチング用途に対応するように設計された強力なエッチングツールです。硬化した鋼材で構成され、優れた精度を発揮するため、極めて薄い層を作ることができます。直感的なユーザーインターフェイスと高度な安全制御により、操作が簡単になり、付属のソフトウェアはさまざまなエッチングレシピを提供します。このモデルは、最高の精度とスループットを提供し、資本コストと運用コストを削減します。
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