中古 ACCUTHERMO AW 410 #9185454 を販売中
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ID: 9185454
ウェーハサイズ: 2"-4"
Rapid thermal processing system, 2"-4"
Main frame with wires
Pentium® class computer with LCD monitor, 17"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Gold plating plates
Door plate with one TC connection port
Oven control board
Main control board
Bottom and top heating with 17 (1.5 kW) radiation heating lamp module
Isolated quartz tube:
Without pyrometer window
With pyrometer window
(4) Bank zones:
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Quartz tray: 2"- 4" Round wafer
Gas line with gas MFC without shut-off valve
T-Shaped quartz with qualified K type TC
Holder: 100°C - 800°C Temperature measurement
Thermocouple wires: (5) Pcs
Specifications:
Ramp up rate: 10°C to 120°C/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-300 sec/step
ERP Pyrometer: 450-1250°C
With ±1°C accuracy
Thermocouple: 100-800±0.5°C
With ±0.5°C accuracy
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±5°C across, 4"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Options:
Patented ERP pyrometer: 400-1250°C
MFCs With extended gas box
Gas control board
Carrier / Suspector for small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Non-Contact high temperature sensor
Chiller: ERP Pyrometer
Pyrometer calibration:
Single point
Omega meter CL23A
Thermocouple calibration
Shut-off valve: Quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Atmospheric RTP RTA
Desktop
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(17) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube
Gold plating plates:
Top
Bottom
Front
Rear
Left
Right
Water cooled oven chamber
Substrate size, 4"
Substrate thickness: <7 mm
Substrate material:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250°C
Temperature sensor: TC
Longest steady time @1000 °C: 5 Mins
Vacuum pressure control: No
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
35 to 50 psi (2.5 to 3.5 kg/cm2)
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Options:
Temperature sensor: ERP
Susceptor: Base and cover
Gas line: 1
Dimension: 17”x18”x11” (DXWXH)
Gas line: 2 tot 4
Dimension: 17”x26”x11” (DXWXH)
Gas line: 5 to 6
Dimension: 17”x30”x11” (DXWXH)
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 60
CE Marked.
ACCUTHERMO AW 410は、安全性、信頼性、効率性を最大限に高めるために設計されたオーブンまたは炉です。この炉は暖房プロセスおよび保護熱機能の精密な制御を提供する特徴の広い範囲を提供します。このユニットは堅牢なチャンバーと断熱設計を備えており、信頼性の高い暖房性能のために最大の保温性を保証します。それにまた部屋を通して熱伝達のための強力で、調節可能なファン装置があります。温度コントローラは、PIDベースのプログラマブルロジックを備えており、加熱プロセスを正確に制御できます。コントローラーは予備加熱、保持、傾斜および他の多くのプロセス機能に使用することができるユーザー調節可能なプログラムを提供します。また、調整可能な温度オーバーシュートまたはアンダーシュートのアラームを提供し、ユーザーがプロセスを監視し、正確な温度制御を保証するのに役立ちます。AW 410は、調整可能な空気分配システムも備えています。このユニットは、空気速度と一次空気分布を直接調整することにより、加熱均一性を向上させるのに役立ちます。これは熱がオーブンの部屋を渡って均等に移されることを保障します。気流機械はまた部屋の余分な燃料消費量か窓の過熱を減らすのを助けます。炉には、操作上の安全性を確保するために設計された多数の保護要素が装備されています。内部には、高温絶縁カバーと調整可能なドアバッフルが装備されています。これらの特徴は、金属が直接熱や炎にさらされるのを軽減するのに役立ちます。内部には、より簡単な操作と安全性の向上を確保するために、凹型ハンドルヒーターと調整可能なスイッチが装備されています。ACCUTHERMO AW 410は産業および実験室の設定の使用のために設計されています。この炉は、焼結、焼戻し、硬化、およびほぼすべての他のタイプの熱処理など、さまざまな熱処理の仕事に使用できます。炉に± 3°Cの正確さの2010°Cの最高温度に達する機能があります。炉は最適な断熱材によって設計され、頑丈な鋼鉄および陶磁器の部品を使用して組み立てられ、長続きがする性能および信頼性を保障します。
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