中古 ACCUTHERM AW 820V #9185477 を販売中
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ID: 9185477
ウェーハサイズ: 2"-8"
Rapid thermal processing system, 2"-8"
Vacuum pressure: 50m Torr to 13 Torr / 13 Torr to 760 Torr
Ramp up rate: 10°C to 120°C per/sec
Maximum rate: 200°C
Steady state duration: 0-600 sec/step
Steady state temperature range: 150°C - 1150°C
Maximum: 1250°C
K-Type TC temperature accuracy: ±1°C
Thermocouple temperature accuracy: ±0.5°C
Temperature:
Repeatability: ±0.5°C
Uniformity: ±8°C across a 8"
Gases used:
N2
O2
Ar
He
Forming gas
NH3
N2O2
Main frame with wires
Pentium® class computer with touch screen monitor, 15"
Mouse and standard keyboard
Aluminum oven chamber
Water cooling passages
Door plate with TC connection port
Top and bottom quartz windows
Heating module with 27 (1.2kW) radiation lamps
(4) Bank zones
Top: Front and rear
Bottom: Front and rear
Oven control board
Main control board
Quartz tray: 5"-8" Round wafer
(2) Gas lines with gas MFCs with shut-off valve
Main vacuum valve
Options:
Atmospheric process function
Vacuum pressure measurement and control function
Turbo pump for up to 10-6 Torr
Vacuum pump:
Mechanical
Dry
Multiple process gases
MFCs (Up to 4) with gas control board
K-Type TC assembly for high temperature
Carrier / Susceptor:
Small sample
Transparent substrate
Substrate with metal thin film on top
Omega meter thermocouple calibration
Shutt-off valve for quartz tube
Lamps cooling control
Spare parts
Type:
Vacuum RTP RTA
Stand alone
Manual loading
PC Controller with real time control technology
Lamp heating: Top and bottom
(27) Lamps
(4) Lamp zones
Isolated quartz tube: No
Gold plating plates:
Top and bottom in lamp module only
Water cooled oven chamber
Substrate size, 8"
Substrate thickness: <10 mm
Substrate materials:
Transparent
Semitransparent
Nontransparent
Substrate shape: Round / Square / Abnormity
Highest temperature: 800-1250/1500°C
Temperature sensor: TC, Special TC
Longest steady time @1000 °C: 30 mins
Vacuum pressure control:
50m Torr to 13 torr (Option) / 10-6 Torr
Chamber cooling:
Maximum: 35°C
Dew point: 3°C
Pre-filtered water
Susceptor material: Graphite with SiC coating / Customized
Susceptor size: 4, 5, 6, 8, 4"x 4”, 5" x 3”, 16" x 2”
Base pressure: 50m Tor / 10-6 Torr
Options:
Omega meter: CL23A
Process gas lines with MFCs: 2, 3, 4, 5
Atmospheric function
Susceptor: Base and cover
Power :
3 Phase
50/60 Hz
AC 200V, 208V, 220V, 380V, 415V
Amps: 100
CE Marked.
ACCUTHERM AW 820Vは、多種多様な熱処理および乾燥用途に使用される高性能産業用オーブンおよび炉です。この炉は、生産サイクル内のさまざまなサイズと形状の製品に対応するために、6つの標準サイズで提供されています。AW 820VはACCUTHERMの高度のバーナーおよび制御システムが装備されている非常に信頼でき、有効な炉の装置です。温度範囲は周囲から850°Cまでで、非常に正確で安定した温度安定性があります（± 1。5°C以上）。また、断続的な操作が可能で、エンドユーザーは必要に応じてユニットをオンにし、使用していないときはオフにすることができます。炉はタッチ画面LCD表示およびPLCのコントローラーのような直観的なユーザーインターフェイスおよび監視装置と、作動すること容易であるように設計されています。この炉はまた、任意の問題を検出する自己診断機を備えているため、アラーム条件への迅速な応答を提供します。ACCUTHERMの高度のバーナー用具は炎の幾何学および排気圧を絶えず調節することによって精密な温度調整および出力を可能にします。また、省エネ機能を搭載し、燃費を低減し効率を向上させています。ACCUTHERM AW 820V炉は、熱処理中の危険物の安全な取り扱いのために設計されています。この資産には、自動および手動のシャットオフスイッチ、煙探知機、爆発の危険性がある場合の緊急シャットオフスイッチなど、幅広い安全機能が装備されています。AW 820V炉は、多種多様な産業用熱処理および乾燥用途向けの高効率で信頼性の高いモデルです。最高の安全性と操作性を実現するよう設計されており、高精度な熱出力と温度安定性を実現する高度なバーナーおよび制御装置が付属しています。また、省エネモードと有害物質の安全な取り扱いのための追加の安全機能を備えています。
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