中古 AKRION GAMA #9154699 を販売中

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AKRION GAMA
販売された
ID: 9154699
ウェーハサイズ: 8"
Wafer cleaner, 8".
AKRION GAMA (Generic Advanced Metrology Analyzer)は、マイクロエレクトロニクス業界における幅広い非接触計測アプリケーション向けの洗練されたソリューションです。高度なスキャン顕微鏡技術により、幅広いウエハーパラメータを高精度かつ高精度に測定することができます。GAMAは、エッジと距離の検査、ステップの高さ、平坦度、サイズ、形状認識、厚さ、同相性、および表面検査などのパラメータに焦点を当てています。このシステムは非破壊であり、テレセントリック光学ユニットを採用しており、ウェーハ全体での正確な測定を最小限に抑えています。AKRION GAMAでは、レーザースキャン技術と干渉測定技術を活用し、サンプル全体の3D地図測定を1回のスキャンで行います。これにより、粒子汚染の検出など、信頼性の高い機能の分析が可能になります。GAMAは、ユーザーフレンドリーな制御モジュール、自動ウェハハンドリングマシン、高解像度イメージングツール、サンプル位置決めアセットで構成されています。制御モジュールはPCベースで、スタンドアロンで動作し、モデル全体をインテリジェントに制御できます。自動化されたウェハハンドリング装置は、幅広いサイズの最大300mmウェハーに対応できます。高解像度イメージングシステムは、軸分解能が0。5ミクロンで、1回のスキャンで最大1。0万行の画像データを取得できます。サンプル位置決めユニットにより、サブミクロンの正確な測定が可能です。サンプルの位置合わせは、ウェーハ全体のいくつかのゲージポイントをスキャンする自動キャリブレーションルーチンによって保証されます。標準サンプルホルダー内に収まる限り、機械はあらゆる非破壊サンプルを測定できます。AKRION GAMAには強力なデータ処理と解析ソフトウェアが付属しています。このソフトウェアは、小規模および大規模サンプルの結果を可視化、分析、および報告するために使用できます。このツールには、ユーザーが特定のアプリケーションや要件に合わせてソフトウェアをカスタマイズできるGAMA固有のスクリプトも含まれています。AKRION GAMAは、基板識別・測定から高度な粒子検出・故障解析まで、幅広いウエハー処理アプリケーションに、強力で正確で信頼性の高いソリューションを提供します。柔軟な構成と自動化された制御により、GAMAはあらゆるウェーハ処理ニーズに最適です。
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