中古 AEROTECH ABRS-150MP-M-AS #135149 を販売中

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ID: 135149
Air bearing rotary stage with A3200 controller Automation 3200 software Interface cable Firewire cable Certificate of accuracy included Average accuracy: 2.5 arc-seconds.
AEROTECH ABRS-150MP-M-ASは、優れたスループットとパフォーマンスを提供するために設計された高度なウェーハ処理装置です。このシステムは、多軸オートメーション、高精度ロボティクス、組込みファームウェア、情報追跡と制御、リアルタイム監視などの最先端の技術を活用して、常に変化する半導体製造環境の厳しい要件を満たすように設計されています。ABRS-150MP-M-ASは、6軸リニア軸ロボットアーム操作ユニットを搭載した本体ベースで構成されています。このユニットは、X、 Y、およびZ軸に沿って、そして完全な360度の回転円弧に沿って正確な動きをすることができます。ロボットアームのオープンデザインにより、ウェーハ表面のカバレッジが大きくなり、最大限の制御と柔軟性が得られます。ロボットアームには、あらゆるサイズと形状のウェーハを正確に配置し選択する高度なビジョンユニットが装備され、ダイの位置と向きを慎重に監視します。AEROTECH ABRS-150MP-M-ASには直感的で汎用性の高いユーザーインターフェイスも装備されており、ウェーハ処理パラメータとすべての設定に簡単にアクセスできます。統合された材料機械により、ウェーハおよび搬送キャリアの迅速かつ容易な積み降ろしが可能になり、オプションの選別および再利用ツールにより、再利用およびスクラップ回収の面でのウェーハ処理が簡素化されます。ABRS-150MP-M-ASはまた、人員、機器、コンポーネントおよびプロセスに対する潜在的な損傷から保護するための組み込みの安全メカニズムを提供します。これらの安全機能には、障壁、密閉レーザー検出システム、エネルギーセンススイッチ、自動シャットオフスイッチなどがあります。さらに、AEROTECH ABRS-150MP-M-ASはオープンアセットとして、さまざまなウェーハ処理アプリケーションの特定の要件を満たすために迅速かつ簡単にカスタマイズできます。全体として、ABRS-150MP-M-ASは強力で効率的なウェーハ処理モデルであり、半導体業界に関連するほぼすべてのプロセスを自動化することができます。AEROTECH ABRS-150MP-M-ASは、多軸ロボティクス、組み込みファームウェア、直感的なユーザーインターフェイス、オプションの選別および再利用機器を備え、幅広いウエハー処理アプリケーションに対して使いやすく、信頼性が高く、費用対効果の高いソリューションをユーザーに提供します。
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