中古 VG SEMICON VG80 #9193894 を販売中

VG SEMICON VG80は、半導体材料およびデバイスの成長に使用される最先端の分子ビームエピタキシー（MBE）装置です。MBEは、高真空条件を必要とする薄膜成膜の複雑で広く使用されている技術であり、ガスが堆積プロセスに干渉するのを防ぎます。VG80は、低エネルギーで動作するため、要求の厳しい産業環境に最適な選択肢であり、プロセスの安定性、品質、歩留まりを最適化するためのいくつかのオプションが装備されています。このシステムは、電子またはイオン爆撃およびレーザーアニーリングを使用して、最大1,050°Cの高温基板を処理できます。また、酸素と水蒸気の部分的な圧力を超低レベルに低減することができる超低圧前蒸着ステージも含まれています。VG SEMICON VG80には、水素、ヘリウム、窒素、一酸化炭素、六フッ化硫黄など、さまざまなガス源が含まれています。VG80で実現可能な最小の機能サイズは約5nmで、高度なin-situプラズマ源と高解像度の特性評価ツールを備えています。VG SEMICON VG80は、光電子デバイス、FETなどのナノ構造の製造に不可欠な優れた均一性と滑らかなインタフェースを提供することができます。このユニットは強力で洗練されたソフトウェアスイートによって制御され、材料の自動蒸着、特性評価、歩留まり解析用に設計されています。堆積プロセス制御に加えて、VG80には均一性と純度制御のための強力な操作機能があります。最後に、VG SEMICON VG80の高度な安全機能は、緊急プロセス停止や過負荷保護モードなど、市場で利用可能な最も信頼性の高い堅牢なMBEシステムの1つになります。幅広い機能と機能を備えたVG80は、LED、スマートディスプレイ、写真撮影などのアプリケーションに最適です。それは半導体製品および装置の製造のための信頼でき、強力な機械です。