中古 ADE / KLA / TENCOR MicroXAM #9189675 を販売中

ADE/KLA/TENCOR MicroXAMは、半導体製造で使用されるウェーハの特性を迅速かつ信頼性の高い分析を提供する包括的なウェーハ試験および計測機器です。このシステムは、ウェーハ表面の厚さ、表面均一性、ピーク面積密度など、さまざまなパラメータの測定と特性評価を可能にし、製造プロセスにとって重要なその他のパラメータを提供します。ADE MicroXAMは、自動ウェーハ処理プラットフォームを中心に構成されています。このプラットフォームにより、自動的にピック&プレス処理が可能になり、ウェーハパラメータを正確に測定できるようになります。自動化されたウェーハハンドラは、ユニット全体に移動する2つのウェーハキャリアで構成されており、複数のウェーハの効率的なテスト、計測、分析を同時に行うことができます。このマシンはまた、高度な計測ツールのスイートを提供しています。これらのツールを使用すると、ウェーハの表面（層厚、ピーク面積密度、表面の均一性など）の非接触光学測定と特性評価が可能になります。高度なアルゴリズムとソフトウェア制御のオートフォーカスにより、正確で再現性のある測定結果を保証します。このツールはまた、詳細なイメージングと分析を可能にする高度なデジタルイメージング機能を提供し、X線分析とイメージングをサポートします。さらに、KLA MicroXAMには一連のデータ収集および解析ツールが搭載されており、測定結果の処理と分析を迅速かつ正確に行うことができます。さらに、このアセットにはさまざまなデータビジュアライゼーションオプションが用意されており、重要なコンポーネントまたはウェーハ特性を迅速に識別および分析できます。TENCOR MicroXAMは、半導体製造プロセスの一貫性と正確性を確保するための貴重なツールです。このモデルは、ウェーハの高速で信頼性の高い測定と分析を提供することにより、コストのかかる製造エラーを低減し、生産歩留まりを最大化するのに役立ちます。