中古 ACCRETECH / TSK Win-Win 50-A5000 #9178343 を販売中
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販売された
ID: 9178343
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wafer inspection system, 12"
Software version: 7.1.0.0
Hardware configuration (Fab):
Main system:
Main body
12" FOUP System:
(2) Brooks fixload
Handler system:
(1) Wafer handing robot
Process Chms:
(1) Inspection unit
(1) Operator console
Hardware configuration (Subfab / Auxilliary Units):
IPU (Images processing unit)
Fan box (Blower)
UPS
A5000 Configuration:
FOUP: Shin-Etsu
Process gasses:
Process gas 1: PIVAC
Process gas 2: CDA
Wafer / Cassette handling:
Wafer type: 12" Semi standard notch
FOUP Type: Shin-Etsu
(25) Cassette wafers
(2) Cassette storages
Fork variable pitch: Twin fork
Boat / Pedestal
(1) Production wafer
System controls:
Signal tower colors: G/G/R/B
General pressure display units: Pressure Mpa
Host communications:
Host communications: User host computer
Information transfer protocol: GEM-SECS
Facility electrical equipment:
2-Line power input
200 VAC, 3 Phase
CE Marked
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK Win-Win 50-A5000は、製品の欠陥を低減するために設計されたマスクおよびウェーハ検査装置です。これにより、パターンアライメントの異常を検出し、マスクとウェーハを7ナノメートル以内にオーバーレイすることができます。これにより、迅速かつ信頼性の高い生産検査が可能になります。システムは、エラーの繰り返し、連絡先の問題、または歩留まりの問題につながる欠陥などの欠陥を検出することができます。また、1ナノメートル以下の遠野焦点のパターン整列誤差を検出するのにも役立ちます。このユニットはビームチルトモニターを内蔵しているため、すべての測定結果が同じ原点まで追跡可能です。これにより、複数のウェーハを測定しても一貫した検査が可能です。TSK Win-Win 50-A5000は、画像解析機能を統合しており、測定した画像と対象画像を簡単に比較して欠陥を迅速に検出することができます。また、高速で再現可能な測定を可能にするステップおよびリピートイメージキャプチャオプションも備えています。このマシンには高速レーザーオートフォーカスツールがあり、画像精度を維持するのに役立ちます。また、リアルタイムで画像をキャプチャする洗練されたインチャンバー統合カメラを備えています。ACCRETECH Win-Win 50-A5000は、複数の測定を単一のウエハ上で同時に実行できるため、生産サイクル時間の短縮とプロセス効率の向上に役立ちます。これは、測定に必要な時間を短縮するのに役立ちます高度な照明アセットを持っています。このモデルは、複数の産業標準ソフトウェアプラットフォームとも互換性があり、さらに効率的になります。また、柔軟性と拡張性があり、あらゆるサイズの製造環境に収まることができます。全体として、Win-Win 50-A5000マスクおよびウェーハ検査装置は非常に信頼性が高く効率的なツールであり、生産欠陥の低減と製造効率の向上に役立ちます。それはあらゆる製造工程に貴重な付加です。
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