中古 CANON PLA 501 F #9198627 を販売中

CANON PLA 501 Fは、半導体産業でフォトリソグラフィ用途に使用される最先端のマスクアライナーです。これは、サブミクロン分解能を提供するために、精密なマイクロステッピングで、ステップとリピートイメージングを利用しています。501Fのスローモーションワークテーブルを使用すると、半導体ウェーハの上にフォトマスクを正確に配置して整列させることができます。6軸モーションコントロールシステムを搭載し、最適なスキャン精度と再現性を確保します。また、高速シャッタープロジェクターにより、フォトマスクの高速かつ正確な配置が可能です。501Fは露光範囲が広い（したがって、さまざまなソースウェーハとフォトマスクをサポートしています）。また、ステップ&リピートイメージング（フルフィールドイメージ）と可変長シリアルイメージング（小型で高密度のフィールドイメージ用）の両方にも対応しています。マスクアライナーは、フォトマスクやウェーハの正確な位置決めのための高精度レチキュールアライメントも可能です。CANON PLA-501Fには、自動真空インターロックを含む幅広い安全機能が組み込まれており、マスクの整列プロセス中にオペレータが安全であることを保証します。さらに、このデバイスには複数の緊急スイッチが装備されており、緊急時にはオペレータがシステムに電力を遮断することができます。501Fには、マスクレイアウトファイルの作成と変更を可能にするユーザーフレンドリーなインターフェイスもあります。直感的なソフトウェアプログラムにより、オペレータはフィールドサイズ、露出レベル、フォーカス範囲などのカスタムマスクパラメータを迅速かつ簡単に定義できます。これにより、パフォーマンスを最適化し、生産性を向上させることができます。全体として、PLA 501Fは、半導体業界にとって理想的な選択肢となる幅広い機能を提供する最先端のマスクアライナーです。優れたスキャン精度と再現性、さまざまな安全機能を提供します。直感的なソフトウェアプログラムにより、操作が簡素化され、生産性が向上します。最終的に、501Fはフォトリソグラフィ用途に最適化されたソリューションを提供します。