中古 CANON MPA 600 FA #9200847 を販売中

CANON MPA 600 FAは、基板の微細およびナノパターニング用の高度なマスクアライナーです。電子デバイスやナノ構造基板の高精度加工を可能にするように設計されています。この装置はX-Yステッピングモータ駆動ユニットを使用して、ナノメートル制御でレチクル（マスク）に対して基板を正確に配置します。レチクルは、X方向とY方向の両方で+/-18mmまで調整可能なガラスチャックに取り付けられています。内蔵のレーザー干渉計は、既知の基準点と比較してチャックのサブミクロン位置変化を測定します。この機能により、非常に正確なアライメントが保証され、一貫した登録が可能になり、システムは重要なアプリケーションに最適です。キヤノンMPA600FAは、0。3ミクロン以上の高解像度印刷を実現する高度な接触露光方式を採用しています。ユニットの高度な光学機器は、可変焦点と調整可能な光学フィルタを可能にし、画質を向上させます。光学パスはコンデンサー、生徒レンズ、対物レンズで構成されており、これらはすべて最適な光学性能に最適化され、露光プロセス中に光の強度と断面を変更することによって変更されます。クォーツレチクルホルダーは、粒子の汚染を最小限に抑え、最高品質のリソグラフィ画像の位置誤差を最小限に抑えるように設計されています。MPA-600FAには専用の400W窒素放射炉が装備されており、マイクロパターニングプロセス中のアニーリングプロセスを簡素化します。それは精密な温度のプロファイリングのための自動温度調整そして調節可能な酸素の流動度を採用します。また、直径300mmまでの大型基板にも対応可能です。この資産には、レシピベースの機器制御のための包括的なモデルソフトウェアパッケージが装備されています。プログラミングを簡素化し、生産性を向上させます。このソフトウェアは、自動化されたアライメント、露出、開発を可能にし、ユーザーは退屈なシステム操作の代わりに自分の研究に集中することができます。MPA-600 FAは、ナノメートル精度と優れたリソグラフィ画質を提供する高度なマスクアライナーです。操作が簡単で、さまざまなマイクロパターニングおよびナノパターニング用途に使用できます。