中古 CANON MPA 500 Fab #9193702 を販売中

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CANON MPA 500 Fab
販売された
製造業者
CANON
モデル
MPA 500 Fab
ID: 9193702
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligners, 5".
CANON MPA 500 Fabは、さまざまなウェーハサイズとアプリケーションでデバイスを最適に生産できるように設計された、完全に自動化された高スループットウェーハレベルのマスクアライナーです。本装置は、キヤノン独自のMPA Fab技術を採用しており、極小サイズのリソグラフィーやアライメントを高精度に行うことができます。CANON MPA 500FABは、高スループット生産プロセスを備えており、高いアライメント速度精度と比類のない精度のスループットを提供します。高度なフライングレーザーアライメントシステム(FLA)は、標準のマスキングデータを使用してレーザーハイライトされたウェーハ機能を高速かつ正確にアライメントし、IRレーザーイメージング技術により、アライメントターゲットとマスクデータの両方を高解像度で正確にキャプチャします。このユニットは、マスク内からアライメントターゲットを検出し、視野の不均一性を補償する高度なイメージングマシンを特徴としています。このツールは、高速シングルショットの露出のためのマルチスキャンオプションで構成することもできます。このアセットはさらに、超短パルス持続時間レーザダイオード露光システムを備えており、ファチュラルなディテールを正確に制御します。その調節可能な波面伝播は、レーザー露出の正確な制御と均一性を保証します。MPA-500FABは、ポリシリコン、ITO、有機ポリマーなどのさまざまな材料の電気イメージング条件を保証する専用のレジストコーティングモデルも提供しています。全体として、MPA 500-FABは、高精度で高精度なリソグラフィープロセスを提供するように設計された超高速マスクアライナーです。独自の機能セットにより、さまざまなウェーハサイズとアプリケーションでデバイスを効率的かつ正確に製造できます。この装置は既存の生産ラインに簡単に組み込むことができ、生産性とコスト削減を実現します。
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