中古 CANON MPA 3000W #9196898 を販売中

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製造業者
CANON
モデル
MPA 3000W
ID: 9196898
ウェーハサイズ: 2"
ヴィンテージ: 1999
Mask aligner, 2" Glass size: 370 x 470 mm CM Box CF Box Console box Blow lonizer set Duct set 1999 vintage.
CANON MPA 3000W Mask Alignerは、半導体デバイスの製造用に設計された高精度で先進的なデバイスです。これは、サブミクロンレベルまでの精度を必要とする露出プロセスが可能です。6インチと8インチのウェーハサイズに対応し、マシンの最大リードフレーム数は1000で、アライメント精度は2〜8ミクロンです。このマシンは、高効率で高速サイクルタイムを生成する最先端の設計を持っています。位置と変位の両方のノードを備えた高速機械マーキング装置が装備されています。露光システムは、完全なテレセントリック光学系と半導体レーザーで構成されています。露出する物体をX-Yポジショナーに置き、レチクルマスクを光学ユニットに置き、レチクル上のミクロンパターンをウェーハ上の対応するパターンに合わせます。CANON MPA-3000 Wには、パフォーマンスを最大化し、精度を高めるために設計されたいくつかの機能があります。これらには、ユーザーがウェーハやレチクル座標をプログラムできるタッチスクリーン制御や、プログラム可能な露出角度が含まれます。ウェーハステージにはオープンクローズドサポートマシンがあり、安定した表面表示とウェーハエアフローの向上を実現しています。スキャナーサポートには、スキャン機構を指示する独立した真空制御ツールがあり、調整可能なピッチが含まれています。さらに、MPA 3000Wには温度制御ガス循環チャンバーがあり、温度変化の影響を最小限に抑え、露出プロセス全体で一貫した雰囲気を維持するように設計されています。カメラアセットは、プログラマブルシャッターモデルとダイレクトイメージデータ転送機能を採用しており、露光処理を進める前にアライメント結果を確認することができます。全体として、MPA-3000 Wマスクアライナーは驚異的な機能と信頼性の技術的なデバイスです。その高速サイクル時間とサブミクロンレベルまでの精度は、高度な半導体デバイスの生産のための理想的な選択肢となります。その多くの機能と機能は、ユーザーが常に可能な限り最高の結果を達成できるように、それは研究や生産のニーズのすべての種類を満たすのに役立ちます。
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