中古 CANON MPA 3000W #9195378 を販売中

CANON MPA 3000Wマスクアライナーは、高精度で完全自動化されたウェハレベルパターニング半導体製造装置です。1ミクロンの小型イメージングが可能で、複雑なマイクロプロセッサやディスプレイパネルなどの製造に最適です。このシステム独自の光学設計には、照明効率を最大限に高め、微細な機能計測を可能にする特殊な光学レンズが含まれています。CANON MPA-3000 Wは非常に安定しており、10〜30°Cの熱動作範囲で動作し、最大スループットは1時間あたり4,000ウェーハです。均一な露出を確保し、バックスライドとフレアを低減するために、MPA 3000Wの主要コンポーネントは、そのN2-enclosedイメージングチャンバー内に囲まれています。近接およびフォーカス検出センサは、露出時にマスクとウェーハの間のギャップを監視し、正確なアライメントを可能にします。イオンポンプの真空チャンバーは、フォトマスクとウェーハの間の領域に真空を作成することにより、さらにMPA-3000 Wの精度に貢献します。この真空はウェーハ表面の望ましくない酸素吸収を防ぎ、ウェーハ全体に均一な露出をもたらします。CANON MPA 3000Wは、自動校正機構を使用してマスクアライナーユニットを最適化することで、露光時の幾何学的な歪みや温度変化を補正することができます。これにより、プロセスの変動を低減し、プロセスの安定性を向上させることができます。ウェーハチェンジャーは、バックスライドやスタンドオフの低減にも役立ち、自動化されたウェーハトランスポートメカニズムにより、スムーズで安全なウェーハハンドリングを実現します。さらに、CANON MPA-3000 Wの高度なX線源により、ビームサイズが一定になり、均一な露出パラメータが得られます。反復可能で信頼性の高い結果を保証するために、MPA 3000Wはいくつかの高度な機能を採用しています。シングルショット圧縮と均一露出パラメータ技術により、立った波及びシャドーイング効果を最小限に抑えることができます。その障害検出モードはまた、露出プロセスを監視し、発生する可能性のある問題を迅速かつ効率的に検出することができます。MPA-3000 Wは、高精度マイクロプロセッサ、ディスプレイパネル、その他のデバイスの製造に理想的な機械です。キヤノンMPA 3000Wは、高度な光学技術とトリガー技術により、再現性の高い結果と一貫して高いスループットを保証します。