中古 BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE #9169035 を販売中

BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE Wafer Handlerは、幅広いウエハハンドリング操作が可能な、信頼性の高い超精密ウェハハンドリング装置です。このシステムは、クリーンルーム環境に耐えるように設計されており、1時間あたり最大350ウェハの処理が可能です。このユニットには、お客様のニーズに応じて最大12個のCMOSウェーハを8 ″、 12 ″または16 ″の直径で安全に保管および転送するように設計されたウェーハホルダーが含まれています。光学式エンコーダを使用して、ウェーハの正確な位置を追跡し、正確なウェーハ転送を保証します。ウェーハホルダーやその他のコンポーネントは、クリーンルームの適合性を高めるためにステンレススチールエンクロージャで覆われています。PRE-201B-CE Wafer Handlerには、さまざまな操作を実行できるロボットアームアセンブリが含まれています。サーボモーターを使用してロボットに電力を供給します。これは、正確なウェハ転送のために360度回転できるジョイントを備えた2つの軸に沿ってエンドエフェクターを移動させることができます。精密なエンコーダも搭載し、ロボットの正確な動きを確保し、加工時の効率と精度を最大化します。さらに、このマシンにはインタラクティブなグラフィカルインターフェイスも含まれているため、オペレータはツールを迅速かつ簡単に制御できます。このインターフェイスにより、オペレータは資産活動を表示および追跡することができ、障害や問題をすばやく特定することができます。安全性を高めるために、緊急停止ボタンも含まれており、緊急時にすべてのモデル活動を停止することができます。さらに、BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE Wafer Handlerには、-20°Cから45°C、 0-95％ RHまでの温度および湿度パラメータをそれぞれ設定できる統合エアキャビネットが装備されており、ウェーハ処理環境をより適切に制御できます。結論として、PRE-201B-CE Wafer Handlerは、クリーンルーム環境における幅広いウェハハンドリング操作に効果的で信頼性の高い機器です。このシステムには、強力なロボットアームアセンブリ、精密なエンコーダ、インタラクティブなグラフィカルインターフェイス、統合されたエアキャビネットなど、さまざまな機能が装備されているため、あらゆるクリーンルームに最適です。