中古 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9198969 を販売中

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ID: 9198969
Implanter Dual bellows extraction assembly With MRS assembly.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80イオンインプランター&モニターは、柔軟で信頼性が高く、費用対効果の高いイオン注入ツールであり、幅広い半導体デバイスの製造に使用できます。高いスループット、高精度、低コスト、信頼性の高い結果を独自に組み合わせたAMAT xR80は、さまざまな製造要件に優れたプラットフォームを提供します。アプライドマテリアルズXR 80の主要コンポーネントは、メインユニット、電子銃、チャンバー、避難装置、制御インタフェース、および粒子検出器です。XR 80の本体は真空チャンバーと電子銃で構成されています。電子銃は、チャンバー内の制御装置によって得られ、操作できるイオンのビームを生成する責任があります。これは、イオンビームのエネルギーと深さを制御し、変化させることによって行われます。AMAT/APPLIED MATERIALS XR 80のチャンバーには、イオンビーム操作の製造と監視を担当する多数のコンポーネントがあります。電子レンズ、デジタルコントローラ、イオンモニター検出器、ビームトラッピングシステムなどがあります。これらの部品はすべて協力して、半導体基板の精密切断と操作に使用できる一連の高精度イオンビームパターンを生成します。避難ユニットは、チャンバー内の真空を維持するための責任があります。APPLIED MATERIALS xR80の適切な動作に必要なレベルの真空を生成することができ、最適なビーム操作と操作結果を確保するために基板を導入すると、チャンバーをしっかりと密閉することができます。AMAT XR 80のコントロールインターフェイスは、ユーザーにグラフィカルユーザーインターフェイス、またはGUIを提供します。これは、ビーム特性を監視し、ツールのパフォーマンスを監視し、デバイスの動作のさまざまな側面を制御するために使用できます。このインターフェイスは、xR80の動作を測定値、検出器からのフィードバック、およびコンピュータネットワークからのその他のフィードバックを通じて外部監視することも可能です。AMAT/APPLIED MATERIALS xR80の粒子検出器は、イオンビームの構造の不規則性のために発生する可能性のある野良粒子の存在を検出する責任があります。これは、重要なアプリケーションでイオンビームのパラメータを制御するために特に重要です。この検出器は、ビーム不純物、小さな粒子を検出することができ、迷惑な粒子の放出を識別することもできます。結論として、AMAT xR80イオンインプランター&モニターは、半導体デバイスの製造と操作に最適なツールです。信頼できる性能、高スループット、低コストの独自の組み合わせにより、多くの製造アプリケーションに最適です。さらに、ユーザーフレンドリーな制御インタフェース、信頼性の高い避難資産、および粒子検出器により、アプライドマテリアルズXR 80は、あらゆる半導体製造設備に優れた付加価値を提供します。
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