中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vista 810 #9187815 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810は、高度な半導体処理のために設計されたイオンインプラントおよびモニタツールです。シリコン基板へのドーパントの埋め込みに使用され、リアルタイムのプロセス制御を提供する高効率で正確なデバイスです。AMAT Vista 810には、窒素（N2）、リン（PH3）、シラン（SiH4）の3ガス源が基板に埋め込まれています。また、2つのミニチュアFaradayカップを備えた高精度ビーム電流測定装置を使用して、電流分解能と0.5pAまでの感度を実現し、イオン密度、角度分散、および横方向のスプレッドを正確に制御できます。また、最大50mAの平均ビーム電流が高いため、従来のインプラントと比較して大幅に高い線量率で動作することができます。APPLIED MATERIALS Vista 810は、自動化されたウェーハ処理システムと、高精度でリアルタイムのプロセス制御を提供する統合レーザー散乱計（LSC）ユニットを備えています。LSCマシンを使用すると、層の深さ、均一性、およびプロファイルの精度に関して、注入プロセスを監視できます。さらに、統合されたマルチチャンネルデジタルシェーピングツールも含まれており、エネルギーレベル、用量、インプラント角度を正確に制御できます。また、Vista 810では、データアーカイブ資産やプロセスモデリング手段などの高度な分析ツールも備えているため、ユーザーは機械のパフォーマンスを正確に予測して監視することができます。この包括的なデータ解析により、ユーザーは層深度、均一性、プロファイル精度、および汚染に最適化できます。一方、統合されたモデルベースの制御モデルは、最適な機械性能を保証します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810は、高度な半導体処理のために設計された非常に洗練された、信頼性の高い、正確なイオンインプラントおよびモニターです。優れた性能と幅広いプロセス制御機能を備えているため、ユーザーはドーパントを正確に埋め込み、高い再現性と信頼性を備えたインプラント工程を監視できます。