中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171473 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは、プロセス制御とより効率的な移植を可能にするイオンインプラントおよびモニターです。特許取得済みのワイドスキャン水平マグネトロンイオン源を使用し、インプラント全体にわたって安定した出力範囲を維持し、一貫性のある線量制御を実現します。AMAT Solion XPは、多重枯渇および高用量レートシステム、および連続可変用量レートアプリケーションに最適です。装置はまた、複数のイオン線量アプリケーションを可能にし、正確な線量率と均一性を可能にします。アプライドマテリアルズSolion XPの自動制御機能には、ビーム品質、汚染レベル、ビームプロファイルなど、ビーム特性を評価するためのビーム特性評価モニタが含まれます。ビーム電流モニタリングシステムにより、0。2 ナノアンパース/cm2から高電流までのレートでインプラント投与量を正確に制御できます。これらのセンサを使用すると、Solion XPは、デフレクタ設定、ビーム電流、ビーム放射強度などのビームパラメータのセットを自動的にコンパイルできます。イオンインプランターは、高度なビームスイーピングユニットと多軸デフレクタを使用して、均一性を向上させます。安全性向上のため、AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは緊急停止およびフェイルセーフマシンを使用して、緊急時にビームを遮断します。また、内部真空ポンプを備えており、汚染レベルを低減するのに役立ちます。追加のセキュリティ機能として、AMAT Solion XPには、キャビネットを開いた場合にビームをシャットオフする光学インターロックツールが含まれています。APPLIED MATERIALS Solion XPには、PID制御ヒーター、オートゼロ圧力レギュレータ、温度コントローラなど、さまざまな自動温度および圧力制御システムが含まれています。ガスフロー制御アセットは、重い要素を埋め込むときの精度を向上させ、長時間のインプラント時間にわたってビームを維持することができます。Solion XPには、イオン注入機能とは別に、プロセス制御と生産性をさらに向上させる追加機能が含まれています。原子力監視モデルは、低エネルギーX線放射を検出するための放射線遮蔽と安全機構と統合されています。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XPは、チャンバーコンポーネントの性能を評価し、インプラントの品質と均一性を評価するための診断機能を提供します。ビーム監視システムと密接に結合されたRF監視装置は、埋め込まれたエネルギーレベルを監視し、リアルタイムデータロギングシステムとバッチメモリ記録ユニットは、すべての埋め込みパラメータが正確に記録されることを保証します。全体として、AMAT Solion XPの高度な機能により、イオン注入時の線量制御、均一性、安全性を向上させるための理想的な選択肢となります。